SiC kate on õhuke kiht sustseptorile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi kaudu. Ränikarbiidmaterjal pakub räni ees mitmeid eeliseid, sealhulgas 10-kordne elektrivälja tugevus, 3-kordne ribavahe, mis tagab materjali kõrge temperatuuri- ja keemilise vastupidavuse, suurepärase kulumiskindluse ja soojusjuhtivuse.
Semicorex pakub kohandatud teenust, aitab teil uuendada komponente, mis kestavad kauem, lühendavad tsükliaegu ja parandavad saagikust.
SiC-kattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid
Vastupidavus kõrgele temperatuurile: CVD SiC-ga kaetud sustseptor talub kõrgeid temperatuure kuni 1600 °C ilma märkimisväärse termilise lagunemiseta.
Keemiline vastupidavus: ränikarbiidkate tagab suurepärase vastupidavuse paljudele kemikaalidele, sealhulgas hapetele, leelistele ja orgaanilistele lahustitele.
Kulumiskindlus: SiC-kate tagab materjalile suurepärase kulumiskindluse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt kulumist.
Soojusjuhtivus: CVD SiC kate tagab materjali kõrge soojusjuhtivusega, muutes selle sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes, mis nõuavad tõhusat soojusülekannet.
Kõrge tugevus ja jäikus: ränikarbiidiga kaetud sustseptor tagab materjalile suure tugevuse ja jäikuse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt mehaanilist tugevust.
SiC katet kasutatakse erinevates rakendustes
LED-tootmine: CVD SiC-kattega sustseptorit kasutatakse mitmesuguste LED-tüüpide, sealhulgas sinise ja rohelise LED-i, UV-LED-i ja sügav-UV-LED-i tootmisel, kuna see on kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse tõttu.
Mobiilside: CVD SiC kaetud sustseptor on HEMT oluline osa GaN-on-SiC epitaksiaalse protsessi lõpuleviimiseks.
Pooljuhtide töötlemine: CVD SiC-ga kaetud sustseptorit kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, sealhulgas vahvlite töötlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks.
SiC-kattega grafiitkomponendid
Valmistatud Silicon Carbide Coating (SiC) grafiidist, kate kantakse CVD-meetodil kõrge tihedusega grafiidi teatud klassidele, nii et see võib töötada kõrge temperatuuriga ahjus temperatuuril üle 3000 °C inertses atmosfääris ja 2200 °C vaakumis. .
Materjali erilised omadused ja väike mass võimaldavad kiiret kuumenemist, ühtlast temperatuurijaotust ja silmapaistvat juhtimistäpsust.
Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
Struktuur |
|
FCC β faas |
Orienteerumine |
murdosa (%) |
111 eelistatud |
Puistetihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Soojuspaisumine 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kokkuvõte CVD SiC-ga kaetud sustseptor on komposiitmaterjal, mis ühendab sustseptori ja ränikarbiidi omadused. Sellel materjalil on ainulaadsed omadused, sealhulgas kõrge temperatuuri- ja kemikaalikindlus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ning kõrge tugevus ja jäikus. Need omadused muudavad selle atraktiivseks materjaliks mitmesuguste kõrge temperatuuriga rakenduste jaoks, sealhulgas pooljuhtide töötlemine, keemiline töötlemine, kuumtöötlus, päikesepatareide tootmine ja LED-tootmine.
Semicorexi sic epitaksiaalmoodul ühendab vastupidavuse, puhtuse ja täpsustehnika, mis on SIC epitaksiaalse kasvu kriitiline komponent. Valige kaetud grafiidilahenduste tasakaalustamata kvaliteedi ja nõudliku keskkonna pikaajaline jõudlus Semicorex.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ülemine poolkuu on poolringikujuline SIC-ga kaetud grafiidi vahvlikoppor, mis on mõeldud kasutamiseks epitaksiaalsetes reaktorites. Valige semicorex tööstusele juhtiva materiaalse puhtuse, täpsuse töötlemise ja ühtlase SIC-katte jaoks, mis tagab pikaajalise jõudluse ja parema vahvli kvaliteedi.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi sic-kattega vahvli kandjad on kõrge puhtusega grafiidiviisilised vastuvõtjad, mis on kaetud CVD räni karbiidiga, mis on loodud vahvli optimaalseks toetamiseks kõrge temperatuuriga pooljuhtide protsesside ajal. Valige Semicorex tasakaalustamata kattekvaliteedi, täpsuse tootmise ja tõestatud töökindluse jaoks, mida usaldavad juhtivad pooljuhid kogu maailmas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC-i kattega vahvliproovid on suure jõudlusega kandja, mis on loodud spetsiaalselt ülimalt kilede sadestumiseks survevabades tingimustes. Täiustatud materjalide inseneri, täpse poorsuse kontrolli ja tugeva SIC-kattetehnoloogia abil pakub Semicorex tööstusele juhtivat usaldusväärsust ja kohandamist, et rahuldada järgmise põlvkonna pooljuhtide tootmise vajadusi.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex 8-tollised vahvlihoidjad on loodud selleks, et tagada vahvli täpne fikseerimine ja erandlik jõudlus agressiivses termilises ja keemilises keskkonnas. Semicorex tarnib rakendusespetsiifilist tehnikat, tihedat mõõtmete juhtimist ja järjepidevat sic-kattekvaliteeti, et täita arenenud pooljuhtide töötlemise rangeid nõudmisi.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex RTP SIC-katteplaadid on suure jõudlusega vahvli kandjad, mis on valmistatud kasutamiseks kiirete termiliste töötlemise keskkondade nõudmiseks. Juhtivad pooljuhtide tootjad usaldavad Semicorex parema termilise stabiilsuse, vastupidavuse ja saastekontrolli, mida toetavad ranged kvaliteedistandardid ja täpsustootmine.
Loe rohkemSaada päring