8 -tolline EPI ülemine rõngas

Semicorex 8 -tolline EPI ülemine rõngas on epitaksiaalsete (EPI) sadestussüsteemide spetsialiseeritud komponent, mis pakub reaktsioonikambri ülemise katteringina suurt jõudlust. Keskendudes pooljuhtide vahvlite epitaksiaalse kasvu ajal struktuurilisele terviklikkusele ja termilisele stabiilsusele, on EPI ülemine rõngas valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist ja kaetud räni karbiidiga (SIC), et taluda pooljuhtide tootmise temperatuuri ja keemiliselt reageerivaid keskkondi.

Epitaksiaalsetes reaktorites aitab ülemine rõngas säilitada vahvli keskkonda ja mängib olulist rolli temperatuuri ühtluses ja gaasivoolul sadestumise ajal vastuvõtja komplekti osana. Grafiidi substraadi SIC -kate tagab EPI ülaosa termilise stabiilsuse ja inertse keskkonnaga, mis on vajalik grafiidi südamiku kaitsmiseks protsessidega gaaside kokkupuutel EPI ülemise rõnga (vesiniku, silaan, clorosilaanid jne) toimimise ajal. SIC -kihi kõvadus ja juhtivus suurendavad EPI ülemise rõnga jõudlust, hoides ära lagunemise ja võimaldades kogu tootmistsükli vältel stabiilsemaid kihte.

Tänu mõõtmete täpsusele, katmise järjepidevusele ja korratavusele on 8 -tolline EPI -ülarõngas valmistatud täpsustehnikaga. Grafiidi substraat on töödeldanud tihedate tolerantside järgi ja puhastatakse termiliselt lisandite eraldamiseks, pakkudes puhta puhtuse ja tugevusega puhta substraadi. SIC -katte kantakse keemilise aurude ladestumise (CVD) kaudu, moodustades tiheda, ühtlase ja tugevalt ühendatud kaitsekihi. See protsess minimeerib osakeste genereerimist ja võimaldab kattel säilitada pinna terviklikkuse pikendatud kasutamise ajal.

Pooljuhtide tootjad tuginevad kriitiliste kambrite parameetrite säilitamiseks EPI ülaosale ja toetavad tootmise ajal defektivabasid vahvleid. Konfiguratsioon on mõeldud kasutamiseks juhtivate OEM-8-tolliste vahvlite töötlemissüsteemidega. Kohandatud valikud on saadaval paksuse, pinnaviimistluse ja soonitud kujundusega paremaks termiliseks haldamiseks või isegi gaasi jaotamiseks.

Selle rakenduse jaoks SIC -ga kaetud grafiidi omaduste järgimine võtab mõlema materjali parimate omaduste kombinatsiooni; Grafiit on väga töötav ja sellel on termiline šokikindlus koos räni karbiidiga, mis on raskem, korrosioonikindlad ja pikema kasutusajaga. See kombinatsioon annab teile lõppkokkuvõttes EPI -ülarõnga, mis on usaldusväärne kõrgel temperatuuril, ning tagab puhta ja stabiilse töötlemiskeskkonna, mis vähendab hooldusintervalle ning pakub üldist täiustatud seadmete tööstust.

Grafiidi komponentidel on pooljuhtide tootmisel hädavajalik ja ülioluline roll. Grafiidimaterjali kvaliteet mõjutab märkimisväärselt valmistoote kvaliteeti. Meie grafiidipartii järjepidevust ja materiaalset homogeensust kontrollitakse ja tagatakse kogu tootmisprotsessi vältel.

1.Mall-parti tootmine, kasutades väikest karbonistusahju ainult 50 kuupmeetriga.

2. Iga materjali tükki jälgitakse ja jälgitakse.

3. Ahju mitmes punktis jälgimine tagab minimaalsete temperatuuride erinevused.

4. Materjali mitme punktiga jälgimine tagab minimaalsete temperatuuride erinevused.

Semicorexi 8-tolline EPI-ülarõngas pakub erakordset jõudlust, partii-partiide järjepidevust ja tõestatud usaldusväärsust kõige raskemates pooljuhtides räni, räni karbiidi või muudes semikühelistest juhtivtöötajates. Igas tootmisetapis toodame kvaliteedikontrolliga tooteid, mis tähendab, et iga pooljuhtide tööstuseks ostetud toode ületab kvaliteedi spetsifikatsioone.

Valige oma epitaxy rakenduse jaoks Semicorexi 8-tolline EPI ülarõngas, et kasutada ära täppisitehnika, paremate materjalide ja rakendusespetsiifilise kohandamise kaudu pakutavaid võimalusi saagikuse ja seadme jõudluse parandamiseks.