SiC-kattega grafiidist MOCVD sustseptorid

SiC-kattega grafiidist MOCVD sustseptoridon olulised komponendid, mida kasutatakse metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) seadmetes, mis vastutavad vahvlialuspindade hoidmise ja kuumutamise eest. Tänu oma suurepärasele soojusjuhtimisele, keemilisele vastupidavusele ja mõõtmete stabiilsusele peetakse SiC-kattega grafiidist MOCVD-sustseptoreid optimaalseks võimaluseks kõrgekvaliteedilise vahvisubstraadi epitakseerimiseks.

Vahvlite valmistamiselMOCVDtehnoloogiat kasutatakse epitaksiaalsete kihtide ehitamiseks vahvlialuspindadele, valmistades ette täiustatud pooljuhtseadmete valmistamist. Kuna epitaksiaalsete kihtide kasvu mõjutavad mitmed tegurid, ei saa vahvlialuseid sadestamiseks otse MOCVD seadmesse asetada. SiC-kattega grafiidist MOCVD sustseptorid on vajalikud vahvli substraatide hoidmiseks ja soojendamiseks, luues stabiilsed termilised tingimused epitaksiaalsete kihtide kasvuks. Seetõttu määrab SiC-ga kaetud grafiidist MOCVD-sustseptorite jõudlus otseselt õhukese kilematerjalide ühtluse ja puhtuse, mis omakorda mõjutab täiustatud pooljuhtseadmete tootmist.

Semicorex valibkõrge puhtusastmega grafiitSiC-ga kaetud grafiit-MOCVD-sustseptorite maatriksmaterjalina ja seejärel katab grafiitmaatriksi ühtlaseltränikarbiidkatmine CVD-tehnoloogia abil. Võrreldes tavapärase tehnoloogiaga parandab CVD-tehnoloogia märkimisväärselt ränikarbiidkatte ja grafiitmaatriksi vahelist sidumistugevust, mille tulemuseks on tihedam ja tugevama nakkuvusega kate. Isegi nõudlikus kõrgtemperatuurilises söövitava keskkonnas säilitab ränikarbiidkate oma struktuurse terviklikkuse ja keemilise stabiilsuse pikka aega, vältides tõhusalt otsekontakti söövitavate gaaside ja grafiitmaatriksi vahel. See väldib tõhusalt grafiitmaatriksi korrosiooni ja takistab grafiidiosakeste eraldumist ja saastumist vahvli substraate ja epitaksiaalkihte, tagades pooljuhtseadmete valmistamise puhtuse ja tootlikkuse.

Semicorexi SiC-kattega grafiidist MOCVD-sustseptorite eelised

1. Suurepärane korrosioonikindlus

2. Kõrge soojusjuhtivus

3. Suurepärane termiline stabiilsus

4. Madal soojuspaisumistegur

5. Erakordne termošokikindlus

6. Kõrge pinna siledus

7. Kestev kasutusiga