SiC keraamiline mõla

Semicorex SiC keraamiline laba on täiustatud osa, mis töötati välja kõrgtemperatuursete pooljuhtahjude jaoks, nagu oksüdatsioon ja difusioon. Mõla toimib konsooltoena, mis hoiab ja liigutab vahvleid kõrgel temperatuuril. Semicorexi SiC keraamiline mõla annab kõrge puhtusastmega ja tugevad keraamilised komponendid kõrge temperatuuriga protsessidele, mis nõuavad töökindlust, stabiilsust ja jõudlust kogu tootmisprotsessi vältel.

Labad on toodetud kõrge puhtusastmegaränikarbiid (SiC), mis on spetsiaalselt loodud taluma pooljuhtide tootmisprotsessi karmi termilist ja keemilist keskkonda. Kui vahvleid töödeldakse oksüdatsiooni ja difusiooni teel, puutuvad vahvlid kokku temperatuuridega, mis on kõrgemad kui 1000 kraadi C, samuti reageerivad gaasid, nagu hapnik, aur või dopant. Nendel temperatuuridel sõltub struktuuri terviklikkus materjali puhtusest.

SiC keraamiliste labade teine ​​oluline omadus on nende suurepärane jõudlus kõrgetel temperatuuridel. SiC sulamistemperatuuri 2700+C tõttu säilitavad labad kõrge temperatuuriga kokkupuutel tugevuse ja mehaanilise stabiilsuse.

omadused aja jooksul. Soojusomadused piiravad materjali väändumist ja pragunemist korduvate kütte- ja jahutustsüklite ajal, tagades samas tootmiskeskkonnas pika kasutusea.

Pooljuhtide töötlemine nõuab ülipuhast keskkonda, kuna isegi väikesed lisandid võivad mõjutada seadmete saagist ja käitumist. Labades kasutataval SiC materjalil on keemiliselt aurustatud (CVD) SiC kate, mis soodustab erakordselt kõrget materjali puhtust, minimeerides samal ajal metallist saastumist. SiC keraamiline laba jääb puhtaks ja stabiilseks kogu oma eluea jooksul. Konsooltugedena peavad labad pakkuma kindlat tuge vahvlikandjatele või paatidele ahju sisestamise ja sealt eemaldamise ajal. SestSiCOma tugevuse ja jäikuse tõttu on neil head kandevõimed minimaalse läbipainega, mis on oluline vahvlite õigeks käsitsemiseks ja joondamiseks. Oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes võib söövitav atmosfäär rünnata ja aja jooksul rikkuda traditsioonilisi materjale, kuid ränikarbiidil on võime säilitada oma keemiline stabiilsus, pikendades mõla kasutusiga. Selle tulemuseks on järsult väiksemad hooldus- ja asenduskulud, kuna labasid ei ole vaja peaaegu nii sageli vahetada või parandada.

Lisaks jõudlusele on aerude kohandamine teatud seadmete ja protsesside jaoks paindlik. Mõõtmeid, tolerantse ja pinnaviimistlust saab muuta paindlikuks, et tagada sobivus ahju konstruktsioonide ja muude vahvlite käsitsemissüsteemide vahel. Võimalus saavutada keraamika täppistöötlusega mõõtmete täpsust kõrgel tasemel, võimaldab valmistada ka labasid, mis vastavad keerukatele geomeetriatele. Kogu see funktsioonide valik on mõeldud sujuvaks tööks ja hõlpsaks integreerimiseks olemasolevatesse tootmisliinidesse.

SiC keraamikaKõrge puhtuse, termilise stabiilsuse, mehaanilise tugevuse ja keemilise vastupidavuse kombinatsiooniga labad on pooljuhtide oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides olulised materjalid. Pakkudes stabiilse ja puhta platvormi vahvlite edastamiseks, aitavad need otseselt kaasa paremale saagisele, protsessi järjepidevusele ja üldisele tootmise efektiivsusele.