Professionaalse tootmisena soovime teile pakkuda pooljuhtkomponente. Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega ränidioksiidiga kaetud komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub grafiidist kulumaterjalidest kristallide kasvatamise kuumade tsoonide jaoks (soojendid, tiigli sustseptorid, isolatsioon) kuni suure täpsusega grafiitkomponentideni vahvlite töötlemise seadmete jaoks, nagu ränikarbiidiga kaetud grafiidisusseptorid Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
End Effector →
Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kõrge puhtusastmega SiC-kattega, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorex SIC-sõrmed on täppismootoriga komponendid, mis on valmistatud kõrge puiduga räni karbiidist, mis on loodud esinema pooljuhtide tootmise äärmuslike nõudmiste alusel. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu täiustatud materjali teadmistele, ülitäpsetele töötlemisele ja usaldusväärsetele lahendustele, mida usaldatakse kriitilistes vahvlite käitlemise rakendustes.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex sic kaane on suure puiduga räni karbiidi komponent, mis on valmistatud ekstreemsete pooljuhtide töötlemiskeskkondade jaoks. Semicorexi valimine tähendab, et tagada juhtivad pooljuhtide tootjad kogu maailmas tasakaalustamata materjali kvaliteedi, täpsuseehituse ja kohandatud lahenduste tagamine.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi räni elektroodid on suure jõudlusega komponendid, mis ühendavad tõhusa elektrijuhtivuse täpse gaasijaotuse võimalustega. Semicorexi valimine tähendab partnerlust usaldusväärse eksperdiga, kes pakub kõrgema kvaliteediga, täiustatud tootmistehnikaid ja usaldusväärseid, kohandatavaid räni elektroodilahendusi, mis on kohandatud teie konkreetsetele vajadustele.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränipaadid on kõrge puhtusega räni kandjad, mis on mõeldud kristallide kasvu, pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tootmisprotsesside jaoks, pakkudes erakordset termilist stabiilsust ja saastkontrolli. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu range kvaliteedikontrolli all valmistatud täppismootoriga paatidele, et tagada järjepidev jõudlus kõige nõudlikumas keskkonnas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Coating Heateri CVD SiC kate pakub suurepärast jõudlust kütteelementide kaitsmisel karmi, söövitava ja reaktiivse keskkonna eest, mida sageli kohtab sellistes protsessides nagu metallorgaaniline keemiline aurustamine-sadestamine (MOCVD) ja epitaksiaalne kasv.**
Loe rohkemSaada päringMetalliline dušipea, mida tuntakse gaasijaotusplaadi või gaasidušipeana, on pooljuhtide tootmisprotsessides laialdaselt kasutatav kriitiline komponent. Selle põhifunktsioon on gaaside ühtlane jaotamine reaktsioonikambrisse, tagades pooljuhtmaterjalide ühtlase kokkupuute protsessiga. gaasid.**
Loe rohkemSaada päring