Professionaalse tootmisena soovime teile pakkuda pooljuhtkomponente. Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega ränidioksiidiga kaetud komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub grafiidist kulumaterjalidest kristallide kasvatamise kuumade tsoonide jaoks (soojendid, tiigli sustseptorid, isolatsioon) kuni suure täpsusega grafiitkomponentideni vahvlite töötlemise seadmete jaoks, nagu ränikarbiidiga kaetud grafiidisusseptorid Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
End Effector →
Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kõrge puhtusastmega SiC-kattega, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorex Silicon Pedestal Boat on 9N ülikõrge puhtusastmega vahvlikandur, mis on loodud täpseks ja stabiilseks vahvlite toetamiseks kõrgel temperatuuril oksüdatsiooni-, difusiooni- ja LPCVD-protsessides. Valige Semicorex võrreldamatu materjali puhtuse, täppistöötluse ja tõestatud töökindluse jaoks*
Loe rohkemSaada päringSemicorex Silicon Injector on ülikõrge puhtusastmega torukujuline komponent, mis on loodud täpseks ja saastevabaks gaasi kohaletoimetamiseks LPCVD polüräni sadestamise protsessides. Valige Semicorex tööstusharu parima puhtuse, täppistöötluse ja tõestatud töökindluse jaoks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex Silicon Wafer Boat on kõrge puhtusastmega kandur, mis on mõeldud pooljuhtkõrgtemperatuuriliste ahjude jaoks, toetades vahvleid oksüdatsiooni- ja redutseerimisprotsesside ajal temperatuuril 1200–1250 °C. Semicorex pakub suurepäraseid tooteid, ülipuhtat jõudlust ja usaldusväärseid tulemusi, mis suurendavad otseselt seadme tootlikkust.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex Silicon Shield Ring on kõrge puhtusastmega ränikomponent, mis on loodud täiustatud plasmasöövitussüsteemide jaoks ja toimib nii kaitsekilbina kui ka abielektroodina. Semicorex tagab ülimalt puhta jõudluse, protsessi stabiilsuse ja suurepärased söövitustulemused täppiskonstrueeritud pooljuhtkomponentidega.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Ceramic Paddle on kõrge puhtusastmega konsoolkomponent, mis on loodud kõrge temperatuuriga pooljuhtahjude jaoks, mida kasutatakse peamiselt oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu täiustatud keraamilistele lahendustele, mis tagavad erakordse stabiilsuse, puhtuse ja vastupidavuse kriitiliste vahvlite käitlemise rakenduste jaoks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC-kattega Halfmoon Parts on täpselt konstrueeritud komponendid, mis on loodud epitaksiaalseadmete olulisteks elementideks, kus kaks poolkuu kujulist osa moodustavad tervikliku südamikukoostu. Semicorexi valimine tähendab usaldusväärsete, kõrge puhtusastmega ja vastupidavate lahenduste tagamist, mis tagavad pooljuhtide stabiilse toe ja tõhusa soojusjuhtivuse.*
Loe rohkemSaada päring