Silikoonist söövitusrõngad

Ränist söövitusrõngad on CCP/ICP söövitusseadmete plasmasöövituskambri olulised komponendid ja need asetatakse tavaliselt pooljuhtplaadi ümber. Nende põhifunktsioonid on pooljuhtvahvli toetamine, ühtlase plasmajaotuse säilitamine, vahvli serva kaitsmine ja seeläbi plasma söövitamise protsessi optimaalsete töötingimuste loomine.

Semicorexi ränisöövitusrõngaste eelised

1. Premium materjali valik

Semicorexi räni söövitusrõngad on valmistatud hoolikalt valitud kõrge puhtusastmega MCZ-stmonokristalliline räni, mis pakub tavapärase CZ monokristallilise räni ees järgmisi suurepäraseid omadusi.

Kõrge puhtusastmega: Puhtus on üle 99,9999999%, mis tähendab, et Semicorexi räni söövitusrõngad ei sisalda peaaegu mingeid lisandeid. See ülikõrge puhtusaste võib tõhusalt vältida komponentide lisandite häireid söövitusprotsessi ajal, tagades sellega söövitamise suure täpsuse.

Stabiilne struktuur: MCZ monokristallilisel ränil on parem kristallstruktuur väiksemate defektidega kui tavalisel CZ monokristallilisel ränil. See stabiilne kristallstruktuur annab Semicorexi ränisöövitusrõngastele parema korrosioonikindluse plasmakorrosiooni suhtes ja võimaldab neil taluda karmi söövitustingimusi.

Suurepärane takistuse ühtlus:Semicorex silikoonist söövitusrõngadtagavad erakordse takistuse ühtluse, kui RRG < 5%. Madala eraldusvõimega (<0,02 Ω·cm), keskmine res. (0,2–25 Ω·cm), kõrge eraldusvõimega (>100 Ω·cm). See suurepärane takistuse ühtlus võib minimeerida ebaühtlast plasmajaotust, mis on põhjustatud liiga kõrgest või madalast takistusest, mis aitab kaasa ideaalse elektrivälja loomisele suure täpsusega plasmasöövitamiseks.

2. Täpne töötlemine ja range kvaliteedikontroll

Semicorexil on kogenud tehniline meeskond, kes suudab pakkuda meie hinnatud klientidele isikupärastatud kohandamist ja tehnilisi hinnanguid, ning on kehtestanud ka süstemaatilised töötlemis- ja kontrolliprotseduurid, et tagada toote kvaliteet.

Paindlikud kohandamisteenused: Semicorex toetab kohandamist kliendi jooniste alusel ja räni söövitusrõngaste maksimaalne kohandatud läbimõõt võib olla kuni 470 mm.

Kõrgetasemeline pinnatöötlus: poleerimise täpsust saab rangelt kontrollida vahemikus Ra < 0,1 µm ja peenlihvimine saavutab pinnaviimistluse Ra > 0,1 µm.

Range kvaliteedikontroll: mõõtmete mõõtmine, eritakistuse testimine ja visuaalne kontroll tehakse tagamaks, et ränisöövitusrõngastel pole kiipe, kriimustusi, pragusid, plekke ja muid defekte.