Professionaalse tootmisena soovime teile pakkuda pooljuhtkomponente. Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega ränidioksiidiga kaetud komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub grafiidist kulumaterjalidest kristallide kasvatamise kuumade tsoonide jaoks (soojendid, tiigli sustseptorid, isolatsioon) kuni suure täpsusega grafiitkomponentideni vahvlite töötlemise seadmete jaoks, nagu ränikarbiidiga kaetud grafiidisusseptorid Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
End Effector →
Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kõrge puhtusastmega SiC-kattega, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorex SiC Heating Filament on ränikarbiidiga kaetud grafiidist küttekeha, mis on mõeldud vahvlikoojenduseks täiustatud pooljuhtide tootmises. Semicorexi valimine tähendab usaldusväärse partneri valimist, kes pakub kõrge puhtusastmega materjale, täpset kohandamist ja kauakestvat jõudlust kõige nõudlikumate termiliste protsesside jaoks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränikarbiidist padrunid on spetsiaalselt loodud fotolitograafiaseadmete jaoks ja neil on mitmeid eeliseid, nagu suur täpsus, ülikerge kaal, kõrge jäikus, madal soojuspaisumistegur ja suurepärane kulumiskindlus.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Furnace Tubes on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist torud, mis on toodetud täiustatud 3D-printimistehnoloogia abil ja mis on mõeldud kõrge temperatuuriga fotogalvaaniliste protsesside jaoks. Semicorex pakub tipptasemel SiC lahendusi ülima tugevuse, stabiilsuse ja töökindlusega, mida päikeseenergiatööstus usaldab kogu maailmas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC labad on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist konsoolvars, mis on mõeldud vahvlite transportimiseks kõrge temperatuuriga oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes temperatuuril üle 1000 ℃. Semicorexi valimine tähendab erakordse materjalikvaliteedi, täppisehituse ja pikaajalise töökindluse tagamist, mida usaldavad juhtivad pooljuhttootjad.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Focus Ring on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist rõngaskomponent, mis on loodud pooljuhtide tootmisel plasmajaotuse ja vahvliprotsessi ühtluse optimeerimiseks. Semicorexi valimine tähendab ühtlase kvaliteedi, täiustatud materjalitehnoloogia ja usaldusväärse jõudluse tagamist, mida usaldavad juhtivad pooljuhtide tootjad kogu maailmas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi vahvli serva lihvimine on keraamiline ketas, mis on valmistatud kõrge puhtusega valgest alumiiniumoksiidist, mis on mõeldud vahvli serva lihvimiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tagab parema materjali kvaliteedi, täpsuseehituse ja usaldusväärse jõudluse, mis toetab kõige nõudlikumat vahvli töötlemiskeskkonda.*
Loe rohkemSaada päring