SiC protsessitorud

Semicorexi SiC protsessitorud on pooljuhtide tootmisprotsessis oksüdatsiooni, difusiooni ja RTA/RTP olulised struktuurikomponendid. Tavaliselt on see suure läbimõõduga toru reaktori ahju ruumina, kõik keemilised protsessid toimuvad sees. Nii et tugevus ja soojuslöögikindlus on mõlemad toote põhipunktid.

SiC protsessitorud on valmistanudpaagutatud ränikarbiid, võib see olla SiSiC, SSiC või RSiC ja CVD SiC kate pinnal, mis moodustab ülikõrge puhtusastmega kihi. See võib takistada saastumist osakeste, tuha jne poolt. Materjalil on väga kõrge soojuslöögikindlus, nii et ränikarbiidi protsessitorud võivad püsida stabiilsena kõrgel temperatuuril ja takistada lisandite sadestumist kõrgel temperatuuril ja seega keskkonna saastamist.

Need SiC protsessitorud on ette nähtud kasutamiseks reaktiivgaasi (hapnik), kaitsegaasi (lämmastik) ja minimaalse koguse gaasilise vesinikkloriidiga atmosfääris ning pakuvad silmapaistvat keemilist vastupidavust, termilist stabiilsust ja materjali puhtust kuni 1250 °C. Semicorexi SiC protsessitorud ühendavad tipptasemel 3D-printimise tootmise keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) kattega, et tagada suurepärane jõudlus ja eluiga ka kõige ekstreemsemates termilistes ja keemilistes tingimustes.

Semicorexi SiC protsessitorusid toodetakse 3D-prindiga integreeritud vormimisprotsessi kaudu, mitte tavapärase pressitud või kokkupandud toruga. See tootmisprotsess võimaldab keraamika pidevat ja ühtlast struktuuri ilma liigeste ja nõrkade piirkondadeta, luues suure keerukuse ja mõõtmete täpsuse, mis võib leevendada pingekontsentratsioone, suurendades samal ajal mehaanilist tugevust. Lisaks tagab monoliitne struktuur maagaasikindla tihendi, mis vähendab saastumist ja leket kõrgel temperatuuril.

TheSiCkorpus on ülimadala lisandisisaldusega materjal (< 300 ppm), mis tagab suurepärase materjali puhtuse ja stabiilsuse reaktiivses atmosfääris. Lisaks on toru kaetud CVD ränikarbiidikihiga (< 5 ppm), et parandada korrosioonikindlust ja pinnakaitset.

Semicorex pakub kohandatud teenust, saame toota vastavalt klientide joonistele, et vastata nõutavatele spetsifikatsioonidele. Seega võivad Semicorexi SiC protsessitorud sobida mitte ainult horisontaalsete, vaid ka vertikaalsete ahjude jaoks.