Poly-Si piludega rõngad

Polü-Si piludega rõngad paigaldatakse tavaliselt täiustatud pooljuhtide söövitusseadmete reaktsioonikambrisse. Need töötavad sünergiliselt räniosadega, sealhulgas ränigateravustamisrõngad, räni välisrõngad ja ränidušiotsad. Need osad võivad luua söövitusprotsessi jaoks stabiilse ja optimaalse reaktsioonikeskkonna, tagades suurepärase tulemusesöövitustäpsus ja protsessi järjepidevus.

Semicorexi polü-Si pilurõngaste funktsioonid

1. Semicorexi polü-Si piludega rõngad on varustatud mitme ühtlaselt jaotatud piluga, mis toimivad gaasikanalitena, mis võimaldavad protsessigaaside sujuvat väljutamist pärast reaktsiooni.

2. Semicorexi polü-Si piludega rõngad suudavad saavutada suurepärase plasmakontrolli, pakkudes usaldusväärset kaitset pooljuhtide söövitusseadmete reaktsioonikambrile.

3. Semicorexi polü-Si piludega rõngad võivad aidata reguleerida elektrivälja ja kambri rõhku, vältides seega ebastabiilsuse mõjutamist söövitusprotsessi järjepidevusel.

Kõrgetasemeline materjalivalik

Semicorex polü-Si piludega rõngad on valmistatud kõrgekvaliteedilisest polükristallilisest ränist, mille puhtusaste on üle 99,9999%, mis annab neile järgmised suurepärased omadused.

1. Ülikõrge puhtusastmega ja ülimadala lisandite sisaldusega.

2. Erakordne plasma korrosioonikindlus.

3. Soodsad elektrilised omadused, takistuse ühtlusega: RRG ≤ 5%, madal res. (<0,02), keskmine res. (1–4) ja kõrge eraldusvõimega. (70–90).

Tootmisvõimalused ja kvaliteedikontroll

Täiustatud töötlemisseadmete ja kogenud tehnilise meeskonnaga varustatud Semicorex kontrollib rangelt iga tootmisprotsessi ning pakub meie hinnatud klientidele kvaliteetseid ja hästi sobitatud polü-Si piludega rõngaid. Lisaks teostab Semicorex ranget kontrolli valmis polü-Si piludega rõngaste mõõtmete mõõtmise, eritakistuse testimise ja visuaalse kontrolli üle, et tagada nende defektide, nagu laastude, kriimustuste, pragude ja plekkide puudumine.