SiC küttefilament

Semicorex SiC Heating Filament, kõrgvaakumiga kuumutuselement, mis on välja töötatud vahvlite töötlemiseks uutes pooljuhtide valmistamises, on uuenduslik kütteelement, mis on disainitudgrafiidist südamikja kõrge puhtusastmegaränikarbiidkate. Spetsiaalne hõõgniit kasutab grafiidi soojusjuhtivust ning SiC vastupidavust ja kaitset, mille tulemuseks on aja jooksul stabiilne ja energiasäästlik küttekeha. SiC kuumutusfilament on mõeldud vahvlite ühtlaseks kuumutamiseks ja spetsifikatsioonide saavutamiseks, muutes selle suurepäraseks komponendiks kõrgtemperatuuriliseks pooljuhtide töötlemiseks, nagu epitaks, difusioon ja lõõmutamine.

SiC küttefilament on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist grafiidi termiliste omaduste ja kvaliteetsete elektriliste omaduste tõttu. Grafiit pakub peamist kuumutusfunktsiooni, mis võimaldab kiiret reageerimist ja tõhusat kuumutamist elektrilise koormuse korral. Tihe kõrge puhtusastmega SiC kate kaitseb hõõgniiti võimalike saasteallikate eest. SiC kate kaitseb vahvlit keemilise saastumise ja oksüdatsiooni ning kambris olevate osakeste eest, pikendab hõõgniidi kasutusiga ja loob puhta kambri keskkonna.

SiC soojendushõõgniidi võtmekvaliteediks on võime tagada vahvli ühtlane kuumutamine. Temperatuuri kõikumised vahvli lõikes võivad põhjustada defekte või saagikuse vähenemist. SiC küttefilamendil on suurepärane soojusjuhtivus ja hõõgniidi kindel konstruktsioon tagab, et kuumus on stabiilsem ja ühtlasem, piirates protsessi absoluutseks juhtimiseks termilisi gradiente.

SiC küttehõõgniit on kohandatav, iga hõõgniidi elektritakistuse väärtust saab kohandada vastavalt selle protsessi tööriistale ja töökeskkonnale. See kohandamine võimaldab ränikarbiidi tehnoloogial kontrollida hõõgniidi geomeetria, katte paksuse ja materjali omaduste takistuse väärtust. SiC küttefilament sobib paljude erinevate ahjude konstruktsioonidega, millel on palju erinevaid vahvlisuurusi ja protsessiretsepte. See on eriti soodne pooljuhtide tootjatele, kuna see võimaldab praegustel protsessidel tõhusamalt töötada ja säilitab ühilduvuse juba olemasolevate süsteemidega.  Kolmas jõudluse omadus on vastupidavus. Kõrge temperatuuriga pooljuhtprotsessides puutub kütteelement kokku väga agressiivse keemilise keskkonna ja korduva termilise tsükliga.

Semicorex SiC Heating Filamenti rakendused hõlmavad laia valikut pooljuhtseadmete tootmisprotsesse. Näiteks epitaksiaalse kasvu ajal tagab kütteelement stabiilse ja ühtlase substraadi temperatuuri kvaliteetsete kristallkilede sadestamiseks.