MOCVD kütteseade

See kütteseade on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist, mille lisandite tase on hoolikalt kontrollitud alla 5 miljondikosa (ppm). Seejärel kaetakse grafiit keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ränikarbiidiga (SiC), mille puhtusaste ületab 99,99995%. See materjalide kombinatsioon annab kütteseadmele ainulaadse komplekti omadusi, mis on hädavajalikud optimaalse jõudluse saavutamiseks metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) protsessides.

Üks Semicorex MOCVD Heateri tähelepanuväärsemaid omadusi on selle erakordne keemiline puhtus. Kõrge puhtusastmega grafiidist südamik minimeerib oluliselt saasteainete sissetoomist kõrgel temperatuuril toimuvate protsesside käigus, tagades ülipuhaste õhukeste kilede sadestumise. CVD SiC kate suurendab seda puhtust veelgi, pakkudes tugevat barjääri keemiliste vastasmõjude vastu, mis võivad kahjustada ladestunud kihtide terviklikkust. See kõrge keemilise puhtuse tase on ülioluline ülima jõudluse ja töökindlusega pooljuhtseadmete tootmiseks.

Lisaks on kütteseade väga vastupidav ja termiliselt tõhus, mis suudab taluda MOCVD protsessidele tüüpilisi äärmuslikke termilisi tingimusi. SiC omased omadused, nagu kõrge sulamistemperatuur ja soojusjuhtivus, aitavad kaasa küttekeha võimele soojust tõhusalt hallata ja jaotada. See soojustõhusus tagab kogu substraadi ühtlase kuumutamise, mis on oluline homogeense kile sadestumise saavutamiseks ja defekte põhjustada võivate termiliste gradientide minimeerimiseks.

Elektrijuhtivus on veel üks valdkond, kus Semicorex MOCVD Heater paistab silma. Kõrge puhtusastmega grafiidist südamik tagab suurepärase elektrijuhtivuse, võimaldades kütteseadmel kergesti toime tulla suure elektrikoormusega. See võimalus on eriti oluline MOCVD protsesside puhul, mis nõuavad täpset temperatuuri ja sadestumise kiiruse kontrolli. Küttekeha võime säilitada stabiilne elektriline jõudlus suurte koormuste korral tagab ühtlased ja reprodutseeritavad protsessitingimused, mis on suure tootlikkusega pooljuhtide tootmiseks üliolulised.

Küttekeha tasane pind on hoolikalt kujundatud, et tagada aluspinna suhtes suurem kiirgusvõime, suurendades kiirgusliku soojusülekande efektiivsust. See disainifunktsioon tagab substraadi ühtlase kuumutamise, mis on ülioluline ühtlase paksuse ja omadustega kvaliteetsete õhukeste kilede saamiseks. Kõrge emissioonivõimega pind aitab kaasa ka küttekeha üldisele soojustõhususele, vähendades energiatarbimist ja kasutuskulusid.

Vastupidavuse osas pakub Semicorex MOCVD Heater erakordset korrosioonikindlust, inoksüdeerumisvõimet ja kõrget mehaanilist tugevust. CVD SiC kate annab tugeva kaitsekihi, mis on vastupidav söövitavatele gaasidele ja kemikaalidele, mida MOCVD protsessides tavaliselt kohtab. See korrosioonikindlus pikendab küttekeha tööiga, vähendades hooldus- ja asenduskulusid. Küttekeha oksüdeerumatus tagab, et see püsib stabiilsena ega lagune isegi kõrgetel temperatuuridel, säilitades selle toimivuse ja konstruktsiooni terviklikkuse pika tööperioodi jooksul.

Lõpuks tagab küttekeha kõrge mehaaniline tugevus selle, et see talub termilise tsükli ja substraadi käsitsemisega seotud füüsilisi pingeid. See vastupidavus minimeerib mehaaniliste rikete riski, tagades usaldusväärse ja pideva töö.