Polü-Si välisrõngad söövitamiseks

Tavaliselt asetatakse selle ümberdušipea, Poly-Si välimine rõngas toimib ühendava osana väljalaskerõnga ja dušiotsiku vahel. See teeb koostöödelektrostaatiline padrun, Si dušipea, Si fookusrõngas, Si väljalaskerõngas ja Si varjestusrõngas, mis loovad stabiilse ja usaldusväärse protsessikeskkonna ülitäpse söövitamise jaoks.

Semicorexi polü-Si välisrõngaste eelised söövitamisel

Söövitamiseks mõeldud Semicorex poly-Si välisrõngad on täpselt valmistatud kvaliteetsest polüränist, mis tagab järgmised suurepärased omadused.

1. Kõrge puhtus ja madal osakeste sisaldus

2.Superior vastupidavus kõrgele temperatuurile ja kõrge termilise šoki vastupidavus

3. Töökindel korrosioonikindlus

4. Erakordne elektriline jõudlus ja kõrge elektrijuhtivuse ühtlus

Semicorexi polü-Si välisrõngaste funktsioonid söövitamiseks

1. Stabiilne maandusjõudlus

Elektroodide maandamiseks ja kaitsmiseks kasutatavad Semicorexi polü-Si välimised rõngad söövitamiseks suudavad vältida staatilise elektri kogunemist ja kaarekahjustusi ning tagada elektroodisüsteemi stabiilse töö, täites täiuslikult täiustatud 3D NAND-i valmistamise protsessinõudeid.

2. Usaldusväärne tugi

Söövitamiseks mõeldud Semicorexi polü-Si välisrõngad on väljalaskerõngast ja duššipead ühendavad olulised komponendid. Need pakuvad mõlemale osale usaldusväärset mehhaanilist tuge ja hoiavad neid sobivas kohas stabiilselt. Lisaks võib Semicorexi polü-Si välimiste rõngaste kasutamine söövitamiseks vältida plasma erosiooni söövituskambril, mis tagab seega tõhusalt söövitustoimingu stabiilse läbiviimise.

3. Ühilduvus söövitusprotsessiga

Söövitamiseks mõeldud Semicorexi polü-Si välisrõngastel on madal lisandite sisaldus ja erakordne korrosioonikindlus, mis tagab suurepärase ühilduvuse räniplaatide valmistamisega, mis vähendab oluliselt söövitatud kõrvalsaaduse saastumisest põhjustatud vahvli defekte ja tagab märkimisväärselt kõrge saagise pooljuhtide tootmisel.