Alumiiniumoksiidi keraamiline manipulaator

Alumiiniumoksiidi keraamiline manipulaatornimetatakse ka alumiiniumoksiidi keraamiliseks kahvliks ja vahvlite käitlemise lõppefektoriks. See on paigaldatud vahvlite käitlemise robotile ja on samaväärne roboti käega. Seda kasutatakse pooljuhtplaatide kandmiseks, transportimiseks ja positsioneerimiseks.Räniplaadidon äärmiselt vastuvõtlikud muude osakeste saastumisele, mistõttu puhtuse tagamiseks käideldakse neid tavaliselt vaakumkeskkonnas. Alumiiniumoksiidi keraamilised manipulaatorid kasutavad alarõhu imemist plaatide eemaldamiseks ja pooljuhtplaatide transportimiseks käe teleskoop-, pöörlemis- ja tõsteliigutustega. Alumiiniumoksiidi keraamilise manipulaatori sees on õhuavad ja tuulutussooned, mis võivad õhu pumpamisel moodustada vaakumi, nii et pooljuhtplaate saab kerge kokkupuutel adsorbeerida ilma pooljuhtplaate muljumata või kahjustamata.

On hästi teada, et mida puhtam on koostisalumiiniumoksiidi keraamikaon seda suurem on selle tugevus. Semicorexi alumiiniumoksiidi keraamilised manipulaatorid on valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamikast. Selle tulemuseks on erakordne mehaaniline tugevus ja kõvadus. Nende kulumiskindlus ületab kõvasti terase ja kroomterase oma, võimaldades neil säilitada pinna täpsust aja jooksul suure hõõrdumisega keskkondades, vähendades vahvlite kriimustuste ohtu ja muutes need ideaalseks ülitäpseks käsitsemiseks. Sellel alumiiniumoksiidi keraamilisel manipulaatoril on kõrge takistus. Selle suurepärased elektriisolatsiooni omadused võivad tõhusalt ära hoida elektrostaatilisi häireid ja vähendada osakeste adsorptsiooni ohtu, et säilitada puhas vahvlipind. Lisaks hõlmab pooljuhtide tootmisprotsess keerulisi ahelaid ja kõrgepingekeskkondi seadmete sees. Kõrge takistusega alumiiniumoksiidi keraamiline manipulaator blokeerib tõhusalt voolujuhtivuse, tagades elektriohutuse pooljuhtplaatide käsitsemise ajal. Tänu alumiiniumoksiidi keraamika kõrgele temperatuurikindlusele ja termilisele stabiilsusele deformeerub manipulaator pooljuhtide kuumtöötlusprotsessi ajal väga vähe, suudab vahvleid täpselt positsioneerida ja vältida termilise deformatsiooni põhjustatud täpsuse hälbeid. Lisaks on sellel materjalil suurepärane keemiline stabiilsus ja see on väga vastupidav hapete, leeliste, sulametallide jms korrosioonile. Teiste ainetega ei ole saasteosakeste vabastamiseks lihtne reageerida ja see võib tõhusalt kaitsta pooljuhtide osi keemilise saastumise eest.