Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorexi elektrostaatiline padrun (ESC) on pooljuhtide tootmises kasutatav täiustatud komponent, mis on loodud pooljuhtplaatide turvaliseks hoidmiseks erinevate töötlemisetappide ajal. Kuna oleme pühendunud tippkvaliteediga toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, oleme valmis olema teie pikaajaline partner Hiinas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränikarbiidist vahvelpadrun on pooljuhtide epitaksiaalprotsessi oluline komponent. See toimib vaakumpadrunina, mis hoiab vahvleid kriitilistes tootmisetappides kindlalt. Oleme pühendunud tippkvaliteediga toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, et olla teie pikaajaline partner Hiinas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Ceramic Chuck on kõrgelt spetsialiseerunud komponent, mis on mõeldud kasutamiseks pooljuhtide epitaksiaalsetes protsessides, kus selle roll vaakumpadrunina on ülioluline. Kuna oleme pühendunud tippkvaliteediga toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, oleme valmis olema teie pikaajaline partner Hiinas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC ICP plaat on täiustatud pooljuhtkomponent, mis on spetsiaalselt loodud vastama kaasaegsete pooljuhtide tootmisprotsesside rangetele nõudmistele. See suure jõudlusega toode on loodud uusima ränikarbiidi (SiC) materjalitehnoloogiaga, pakkudes võrratut vastupidavust, tõhusust ja töökindlust, muutes selle tipptasemel pooljuhtseadmete valmistamisel oluliseks komponendiks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas*.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC ICP söövitusplaat on pooljuhtidetööstuses täiustatud ja asendamatu komponent, mis on loodud söövitusprotsesside täpsuse ja tõhususe suurendamiseks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas*.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Alumina End Effector on kujunenud asendamatuks tööriistaks pooljuhtide tootmise nõudlikus valdkonnas, kus isegi mikroskoopilised puudused võivad seadme jõudlust kahjustada. Alumiiniumoksiidi lõppefektor pakub ainulaadset kombinatsiooni täpsusest, puhtusest ja vastupidavusest, mis on oluline õrnade räniplaatidega manipuleerimiseks erinevates tootmisprotsessides.**
Loe rohkemSaada päring