Poorne alumiiniumoksiidi vaakumpadrun

Semicorexi poorse alumiiniumoksiidi vaakumpadrun on kandeplatvorm toodete kinnitamiseks vaakumi imemise põhimõttel, selle osa ülekandevaakumist on tavaliselt alumiiniumoksiidi poorne keraamiline plaat. Poorne keraamiline plaat on ehitatud aluse süvistatud avasse, selle ümbermõõt on liimitud ja tihendatud alusele ning alus on töödeldud tiheda keraamilise või metallmaterjaliga. Töökeskkonna miinusrõhu all ühendatakse padrun vaakumpumbaga läbi keraamilise plaadi sees oleva poorse struktuuri, et tõmmata õhku, mistõttu vahvli all olev ala moodustab vaakumala, mis on palju madalam välisest atmosfäärirõhust. Tugeva rõhuerinevuse mõjul kinnitub vahvel kindlalt padruni pinna külge. Tavaliselt, mida kõrgem on vaakumi aste vahvli all, seda tugevam on haardumine padruni ja tooriku vahel ning seda tugevam on adsorptsioonijõud.

Pooljuhtide ja mikroelektroonikatööstuses pole täpsus ainult nõue – see on standard. Poorne alumiiniumoksiidi vaakumpadrun (tuntud ka kui keraamiline vaakumpadrun) on kriitiline komponent, mis on loodud pakkuma õrnadele aluspindadele ühtlast, mitte kahjustavat imemist litograafia-, kontrolli- ja kuubikuteks lõikamise ajal.

Mis on poorne alumiiniumoksiidi vaakumpadrun?

Erinevalt traditsioonilistest metallpadrunitest, mis kasutavad imemiseks töödeldud sooni, kasutab poorne keraamiline padrun spetsiaalset mikroskoopilist pooride struktuuri. See võimaldab vaakumrõhku ühtlaselt jaotada kogu töödeldava detaili pinnale, vältides soontega kujunduste puhul sageli esinevat "lohkimist" või deformatsiooni.

Peamised tehnilised andmed

Nende komponentide toimivuse mõistmiseks vaatleme kõrge puhtusastmega Al2O3 materjali omadusi:

Miks valida traditsiooniliste materjalide asemel poorne alumiiniumoksiid?

1. Suurepärane lamedus ja ühtlus

Mikroskoopiline pooride struktuur tagab vaakumjõu rakendamise 100% kontaktpinnast. Tööstusandmete kohaselt vähendab ühtlane imemine vahvlite pinget kuni 40% võrreldes traditsiooniliste soonega roostevabast terasest padruniga.

2. Kõrge termiline stabiilsus

Alumiiniumoksiidi keraamikal on madal soojuspaisumistegur (CTE). Kõrgel temperatuuril töötlemisel või laseripõhisel kontrollimisel säilitab padrun oma mõõtmed, tagades fookussügavuse muutumatuks.

3. ESD ja saastekontroll

Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid on keemiliselt inertne ja loomulikult korrosioonikindel. Lisaks saab kasutada spetsiaalseid "must alumiiniumoksiidi" või antistaatilisi katteid, et vältida elektrostaatilist tühjenemist (ESD), mis põhjustab mõnes keskkonnas peaaegu 25% pooljuhtide tootlikkuse vähenemisest.

Peamised rakendused kõrgtehnoloogilises tootmises

Pooljuhtplaatide töötlemine

Peamine kasutusjuht on fotolitograafia ja vahvlite sondeerimine. Äärmuslik tasapinnalisus (<2 μm) tagab, et vahvel püsib arenenud optiliste süsteemide kitsas teravussügavuses.

Õhukese kilega päikesepatareide tootmine

Painduvate või väga õhukeste aluspindade puhul võivad traditsioonilised vaakumkanalid põhjustada füüsilisi kahjustusi. Poorse keraamika "hingav" pind toimib õrna õhkpadja või imiplaadina, kaitstes hapraid kihte.

Optilise läätse lihvimine

Poorset alumiiniumoksiidi kasutatakse läätsede hoidmiseks täppislihvimisel, kus igasugune vibratsioon või ebaühtlane rõhk võib põhjustada optilisi aberratsioone.

Korduma kippuvad küsimused (KKK)

K1: Kuidas puhastada poorset alumiiniumoksiidi vaakumpadrunit?

V: Puhastamine on imemise säilitamiseks ülioluline. Soovitame kasutada ultrahelipuhastust deioniseeritud vees või spetsiaalsetes lahustites. Kuna alumiiniumoksiid on keemiliselt stabiilne, talub see enamikke happelisi või aluselisi puhastusvahendeid. Veenduge, et padrun on kuivaks küpsetatud, et eemaldada niiskus pooridest.

Q2: Kas pooride suurust saab kohandada konkreetsete substraatide jaoks?

V: Jah. Väiksemad poorid (umbes 10 μm - 20 μm) sobivad paremini üliõhukeste kilede jaoks, et vältida "läbitrükkimist", samas kui suuremad poorid pakuvad suuremat õhuvoolu raskemate või poorsemate toorikute jaoks.

Q3: Mis on maksimaalne töötemperatuur?

V: Kuigi keraamika ise talub temperatuure üle 1500 ℃, on vaakumpadruni komplekt (sealhulgas tihendid ja korpused) tavaliselt hinnatud kuni 250 ℃ kuni 400 ℃ sõltuvalt liimimismeetodist.