Sic -torud

Semicorex SIC torud on pooljuhtide ahjusüsteemide keraamilised osad.  Neil on ainulaadsed omadused, mis hõlmavad kõrge termilise ülekande ning kõrgtemperatuuri ja keemilise vastupidavust, mida on vaja pooljuhtivates rakendustes, kus on oodata äärmuslikke kõrgtemperatuurilisi ja keemilisi keskkonnatingimusi ning kui omadused on soovitavad - vastupidavus, energiatõhusus ja ainulaadsed stabiilsed protsessitingimused - mis võimaldavad kasutada edasijõudnute semikotaaži keskkonnas ökonoomsust.

Semicorex sic torud kasutavad kõrge puhtusarjaga peeneteraränikarbiidSee on toodetud erandliku kõrge temperatuuriga mehaanilise stabiilsusega täiustatud paagutamise ja ümberkristallimismeetodite ja tehnikate tagajärjel. Suure jõudlusega SIC lubamine põhjustab erakordset mehaanilist tugevust ja termilise stabiilsuse säilitamist kõrgel töötemperatuuril. SIC -l on erakordne kõvadus, mis leevendab kulumist, või potentsiaalset deformatsiooni.  Lisaks on SIC omadustega seotud atribuudid soojuse laienemise madala kütuseefektiivse koefitsient, kuna need piiravad termilist stressi, kuna selle materjali tsüklimiseks on nõuded äärmusliku kõrge ja madala tööoskuse vahel. Kõigis nendes kaalutlustes on neil eriline kasulikkus ideaalseteks rakendusteks difusiooniahjudes, oksüdatsiooni ahjudes ja LPCVD/PECVD -süsteemides, et säilitada maksimaalselt stabiilseid protsessitingimusi, mis on kasulikud, et kõrvaldada või piirata defekte, mis on ka vahvli või materjaliga seotud mõõdikud, millel on väga stabiilsed, isegi protsessitingimused.

Veel üks SIC -torude kasulikkus on kõrge soojusjuhtivusprofiilid konkreetsetes tingimustes ja rakendatavad ahjude konstruktsioonid, et saada kõrge juhtivuse kiiruse ja ülioluline temperatuuri ühtlane ja ühtlane jaotus protsessis.  See usaldusväärne käitumine võimaldab vahvleid kokku puutuda mõistlike ajavahemikega pool-võrdsete temperatuuride jaotustega ja lisaks piirata soojusgradiente, et leevendada lamedapõhjaga moonutatud ja/või defektitud vahvleid, parandades samal ajal veelgi rohkem kile ladestumistingimusi.

Keemiline stabiilsus ja resistentsus on veel üks oluline tulemuslikkuse tegur.  Pooljuhtide protsessides on ahjude toru väga reageerivate gaaside, sealhulgas hapniku, vesiniku, ammoniaagi ja kõigi halogeenide mõjul, mis võivad tavapäraseid materjale kiiresti lagundada. Tihe ja mittepoorne mikrostruktuur koos SIC-i keemiliselt inertse olemusega kaitseb seda oksüdeerimise ja korrosiooni eest, pakkudes samal ajal töötava ja mehaanilise jõudlust äärmuslikus protsessikeskkonnas.  SIC -ahjude vastupidavus aitab neil säilitada vormi ja mõõtmete täpsuse terviklikkust pika aja jooksul, mis on oluline protsesside kontrollimiseks ja stabiilsuseks.

SIC -torusid saab toota laias erinevas suuruses ja seinapaksuses, mis on geomeetriliselt ahju kujundused ja protsessivajadused.  Täpsed täpsed töötlemise omadused säilitatakse ka SIC -torude kavandamise ja tootmise ajal, nii et operatiivsed tolerantsid võivad olla tihedad, siledate sisepindade ja suurepärase kontsentrilisusega, et säilitada laminaarse gaasi voolu ja ühtlaste soojusprofiilide tasakaal. Pinna poleerimist ja katteid saab pakkuda töötlemisvõimalustena, mis suurendavad jõudlust, vähendades osakeste genereerimist ja parandades korrosioonikindlust.

SIC -torudel on selged töö- ja kulueelised võrreldes alternatiivsete materjalidega nagu kvarts või alumiiniumoksiidi torud.  SIC -komponentide esialgsed kulud võivad olla pisut kõrgemad, kuid toote eluiga, purunemise vähenemist ja madalamaid hooldusnõudeid põhjustavad omandiõiguse kogukulud, mis on väiksemad kulud kui alternatiivsed materjalid ja torud.

Kokkuvõtteks: SemicorexSicTorud on pooljuhtide ahjude rakenduste jaoks parim võimalus, kuna need pakuvad parimat soojuslikku jõudlust, mehaanilist tugevust, keemilist vastupidavust ja usaldusväärsust nõudlike tootmiskeskkondade jaoks. See materjal parandab protsessi stabiilsust ja abistab kulude kokkuhoidu ja tõhusust (st madalamat energiatarbimist). SIC -torud on tänapäevase pooljuhtide valmistamise põhimaterjal.