SiC kattega vahvlikandjad

SiC-kattega Semicorexi vahvlikanduritel on suurepärane termiline stabiilsus ja juhtivus, mis on oluline püsiva temperatuuri säilitamiseks keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsesside ajal. See tagab ühtlase soojusjaotuse kogu aluspinnal, mis on ülioluline kvaliteetse õhukese kile ja katte omaduste saavutamiseks.

SiC-kattega vahvlikandurid on valmistatud rangete standardite järgi, tagades ühtlase paksuse ja pinna sileduse. See täpsus on oluline ühtlaste sadestuskiiruste ja kile omaduste saavutamiseks mitmel vahvlil.

SiC kate toimib mitteläbilaskva barjäärina, takistades lisandite difusiooni sustseptorilt vahvlisse. See vähendab saastumise ohtu, mis on kõrge puhtusastmega pooljuhtseadmete tootmisel ülioluline. Nende SiC-kattega Semicorexi vahvlikandjate vastupidavus vähendab sustseptori vahetamise sagedust, mis vähendab hoolduskulusid ja minimeerib pooljuhtide tootmistoimingute seisakuid.

SiC-kattega Semicorexi vahvlikandjaid saab kohandada nii, et need vastaksid konkreetsetele protsessinõuetele, sealhulgas suuruse, kuju ja katte paksuse erinevustele. See paindlikkus võimaldab optimeerida sustseptorit, et see vastaks erinevate pooljuhtide tootmisprotsesside ainulaadsetele nõudmistele. Kohandamisvalikud võimaldavad välja töötada sustseptorite disainilahendusi, mis on kohandatud spetsiaalsete rakenduste jaoks, nagu suuremahuline tootmine või uurimis- ja arendustegevus, tagades optimaalse jõudluse konkreetsetel kasutusjuhtudel.