MOCVD reaktorite sustseptorid

Semicorexi sustseptorid MOCVD reaktorite jaoks on kvaliteetsed tooted, mida kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, nagu ränikarbiidikihid ja epitaksilised pooljuhid. Meie toode on saadaval käigu- või rõngakujulisena ja on loodud saavutama kõrgel temperatuuril oksüdatsioonikindlust, muutes selle stabiilseks temperatuuridel kuni 1600 °C.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie sustseptorid MOCVD reaktorite jaoks on valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes, tagades kõrge puhtuse. Toote pind on tihe, peente osakestega ja suure kõvadusega, mis muudab selle korrosioonikindlaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide suhtes.
Meie susceptorid MOCVD reaktorite jaoks on loodud tagama kõikide pindade katmise, vältides mahakoorumist ja saavutades parima laminaarse gaasivoolu mustri. Toode tagab termoprofiili ühtluse ja hoiab ära saastumise või lisandite leviku protsessi käigus, tagades kvaliteetse tulemuse.
Semicorexis seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kuluefektiivseid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

MOCVD reaktorite sustseptorite parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega grafiidisusseptori omadused MOCVD jaoks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut