SiC kate on õhuke kiht sustseptorile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi kaudu. Ränikarbiidmaterjal pakub räni ees mitmeid eeliseid, sealhulgas 10-kordne elektrivälja tugevus, 3-kordne ribavahe, mis tagab materjali kõrge temperatuuri- ja keemilise vastupidavuse, suurepärase kulumiskindluse ja soojusjuhtivuse.
Semicorex pakub kohandatud teenust, aitab teil uuendada komponente, mis kestavad kauem, lühendavad tsükliaegu ja parandavad saagikust.
SiC-kattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid
Vastupidavus kõrgele temperatuurile: CVD SiC-ga kaetud sustseptor talub kõrgeid temperatuure kuni 1600 °C ilma märkimisväärse termilise lagunemiseta.
Keemiline vastupidavus: ränikarbiidkate tagab suurepärase vastupidavuse paljudele kemikaalidele, sealhulgas hapetele, leelistele ja orgaanilistele lahustitele.
Kulumiskindlus: SiC-kate tagab materjalile suurepärase kulumiskindluse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt kulumist.
Soojusjuhtivus: CVD SiC kate tagab materjali kõrge soojusjuhtivusega, muutes selle sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes, mis nõuavad tõhusat soojusülekannet.
Kõrge tugevus ja jäikus: ränikarbiidiga kaetud sustseptor tagab materjalile suure tugevuse ja jäikuse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt mehaanilist tugevust.
SiC katet kasutatakse erinevates rakendustes
LED-tootmine: CVD SiC-kattega sustseptorit kasutatakse mitmesuguste LED-tüüpide, sealhulgas sinise ja rohelise LED-i, UV-LED-i ja sügav-UV-LED-i tootmisel, kuna see on kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse tõttu.
Mobiilside: CVD SiC kaetud sustseptor on HEMT oluline osa GaN-on-SiC epitaksiaalse protsessi lõpuleviimiseks.
Pooljuhtide töötlemine: CVD SiC-ga kaetud sustseptorit kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, sealhulgas vahvlite töötlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks.
SiC-kattega grafiitkomponendid
Valmistatud Silicon Carbide Coating (SiC) grafiidist, kate kantakse CVD-meetodil kõrge tihedusega grafiidi teatud klassidele, nii et see võib töötada kõrge temperatuuriga ahjus temperatuuril üle 3000 °C inertses atmosfääris ja 2200 °C vaakumis. .
Materjali erilised omadused ja väike mass võimaldavad kiiret kuumenemist, ühtlast temperatuurijaotust ja silmapaistvat juhtimistäpsust.
Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
Struktuur |
|
FCC β faas |
Orienteerumine |
murdosa (%) |
111 eelistatud |
Puistetihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Soojuspaisumine 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kokkuvõte CVD SiC-ga kaetud sustseptor on komposiitmaterjal, mis ühendab sustseptori ja ränikarbiidi omadused. Sellel materjalil on ainulaadsed omadused, sealhulgas kõrge temperatuuri- ja kemikaalikindlus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ning kõrge tugevus ja jäikus. Need omadused muudavad selle atraktiivseks materjaliks mitmesuguste kõrge temperatuuriga rakenduste jaoks, sealhulgas pooljuhtide töötlemine, keemiline töötlemine, kuumtöötlus, päikesepatareide tootmine ja LED-tootmine.
Semicorex SiC kaetud epitaksiaalreaktori barrel on kõrgekvaliteediline grafiittoode, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga. Selle suurepärane tihedus ja soojusjuhtivus muudavad selle ideaalseks valikuks kasutamiseks LPE protsessides, pakkudes erakordset soojusjaotust ja kaitset söövitavas ja kõrge temperatuuriga keskkondades.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi karbiidiga kaetud reaktoritünn Susceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud esmaklassiline grafiittoode, mis on loodud spetsiaalselt LPE protsesside jaoks. Suurepärase kuuma- ja korrosioonikindlusega toode sobib suurepäraselt pooljuhtide tootmiseks.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi SiC-kattega sustseptorbarrel epitaksiaalreaktorikambri jaoks on ülimalt usaldusväärne lahendus pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks, millel on suurepärased soojusjaotuse ja soojusjuhtivuse omadused. Samuti on see väga vastupidav korrosioonile, oksüdatsioonile ja kõrgetele temperatuuridele.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor on kõrgekvaliteediline grafiittoode, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mis pakub erakordset kuuma- ja korrosioonikindlust. See on spetsiaalselt loodud LPE rakenduste jaoks pooljuhtide tootmises.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC kate EPI 3 1/4" barrel Susceptor tagab suurepärase termilise stabiilsuse ja vastupidavuse keemilisele rünnakule, samas kui grafiidist aluspinnal on suurepärased soojusülekande omadused.
Loe rohkemSaada päringSemicorex on Hiinas asuv ränidioksiidiga kaetud tünni susceptori suurtootja ja tarnija. Keskendume pooljuhtide tööstustele, nagu ränikarbiidi kihid ja epitaksilised pooljuhid. Meie toodetel on hea hinnaeelis ja need hõlmavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks.
Loe rohkemSaada päring