Semicorexi SiC-kattega ICP-komponent on loodud spetsiaalselt kõrge temperatuuriga vahvlite käitlemise protsesside jaoks, nagu epitaksimine ja MOCVD. Peene SiC-kristallkattega tagavad meie kandurid suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse.
Semicorexi SiC-kattega ICP-komponent on parim valik vahvlite käitlemise protsesside jaoks, mis nõuavad kõrget temperatuuri ja keemilist vastupidavust. Meie kandurid pakuvad ühtlaseid termilisi profiile, laminaarseid gaasivoolu mustreid ning hoiavad ära saastumise või lisandite difusiooni tänu meie peenele SiC kristallile. Peene SiC-kristallkattega tagavad meie kandurid suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse.
Semicorexis keskendume oma klientidele kvaliteetsete ja kulutõhusate toodete pakkumisele. Meie SiC-kattega ICP-komponendil on hinnaeelis ja seda eksporditakse paljudele Euroopa ja Ameerika turgudele. Meie eesmärk on olla teie pikaajaline partner, pakkudes ühtlase kvaliteediga tooteid ja erakordset klienditeenindust.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie SiC-kattega ICP-komponendi kohta.
SiC-kattega ICP-komponendi parameetrid
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
SiC-kattega ICP-komponendi omadused
- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut