ICP ränisüsinikkattega grafiit

Semicorexi ICP ränisüsinikkattega grafiit on ideaalne valik nõudlike vahvlite käitlemise ja õhukese kile sadestamise protsesside jaoks. Meie tootel on suurepärane kuuma- ja korrosioonikindlus, ühtlane termiline ühtlus ja optimaalsed laminaarsed gaasivoolumustrid.

Saada päring

Tootekirjeldus

Epitaksiaalse kasvu töötlemisel kasutatavad vahvlikandjad peavad taluma kõrgeid temperatuure ja karmi keemilist puhastust. Semicorex ICP ränisüsinikkattega grafiidisusseptorid on konstrueeritud spetsiaalselt nende nõudlike epitaksiseadmete rakenduste jaoks. Meie toode on konstrueeritud taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust, tagades pikaealisuse ja optimaalsed tulemused.
Meie ICP ränisüsinikkattega grafiit on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie ICP ränisüsinikkattega grafiidi kohta.

ICP ränisüsinikkattega grafiidi parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300