SiC kaetud ICP söövituskandur

Vahvlikandjad, mida kasutatakse õhukese kile sadestamise faasides, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite käitlemise protsessis, nagu söövitus, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega SiC-kattega ICP söövituskandurit, mis tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus, ning vastupidav keemiline vastupidavus. Peen SiC kristallkate tagab puhta ja sileda pinna, mis on käsitsemisel kriitilise tähtsusega, kuna puutumatud vahvlid puutuvad susseptoriga kokku paljudes kohtades kogu oma piirkonnas.

Meie SiC-kattega ICP söövituskandur on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades soojusprofiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.

Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie SiC-kattega ICP söövituskanduri kohta.

SiC kaetud ICP söövituskanduri parameetrid

Kõrge puhtusastmega SiC kaetud ICP söövituskanduri omadused

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud

Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C

Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.

Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.

Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.

- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster

- Termoprofiili ühtluse garantii

- Vältige saastumist või lisandite levikut