> Tooted > Ränikarbiidiga kaetud > ICP söövituskandur > Kõrge temperatuuriga SiC kate plasmasöövituskambritele

Tooted

Uued tooted

Kõrge temperatuuriga SiC kate plasmasöövituskambritele

Kui rääkida vahvlite käitlemisprotsessidest, nagu epitaksimine ja MOCVD, on Semicorexi kõrge temperatuuriga SiC kate plasmasöövituskambrite jaoks parim valik. Meie kandurid tagavad suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse tänu meie peenele SiC kristallkattele.

Saada päring

Tootekirjeldus

Me Semicorexis mõistame kvaliteetsete vahvlite käsitsemisseadmete tähtsust. Seetõttu on meie plasmasöövituskambrite kõrge temperatuuriga SiC kate loodud spetsiaalselt kõrge temperatuuriga ja karmide keemiliste puhastuskeskkondade jaoks. Meie kandurid tagavad ühtlased termilised profiilid, laminaarsed gaasivoolumustrid ning hoiavad ära saastumise või lisandite difusiooni.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie plasmasöövituskambrite kõrgtemperatuurse ränidioksiidi katte kohta.

Plasmasöövituskambrite kõrgtemperatuurse ränidioksiidi katte parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Plasmasöövituskambrite kõrgtemperatuurse ränidioksiidi katte omadused

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud

Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C

Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.

Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.

Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.

- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster

- Termoprofiili ühtluse garantii

- Vältige saastumist või lisandite levikut

Kuumad sildid: Kõrge temperatuuriga ränidioksiidi kate plasmasöövituskambritele, Hiina, tootjad, tarnijad, tehas, kohandatud, hulgi, täiustatud, vastupidav