Võite olla kindel, et ostate meie tehasest MOCVD jaoks mõeldud SiC-kattega grafiitpõhimiku vahvlikandjad. Semicorexis oleme Hiinas ränidioksiidiga kaetud grafiidisusceptori suuremahuline tootja ja tarnija. Meie tootel on hea hinnaeelis ning see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Püüame pakkuda oma klientidele kvaliteetseid tooteid, mis vastavad nende erinõuetele. Meie MOCVD jaoks mõeldud SiC-kattega grafiidist substraadi vahvlikandur on suurepärane valik neile, kes otsivad oma pooljuhtide tootmisprotsessi jaoks suure jõudlusega kandjat.
MOCVD jaoks mõeldud SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier mängib pooljuhtide tootmisprotsessis üliolulist rolli. Meie toode on väga stabiilne isegi ekstreemsetes keskkondades, mistõttu on see suurepärane valik kvaliteetsete vahvlite tootmiseks.
Meie MOCVD jaoks mõeldud SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers omadused on silmapaistvad. Selle tihe pind ja peened osakesed suurendavad selle korrosioonikindlust, muutes selle vastupidavaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide suhtes. Kandur tagab ühtlase termilise profiili ja tagab parima laminaarse gaasivoolu mustri, vältides igasuguse saastumise või lisandite levimist vahvlisse.
SiC-kattega grafiitpõhimiku vahvlikandjate parameetrid MOCVD jaoks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
SiC-kattega grafiidisusseptori omadused MOCVD jaoks
- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut