SiC-kattega plaadikandurid MOCVD jaoks

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD on kvaliteetne kandja, mis on mõeldud kasutamiseks pooljuhtide tootmisprotsessis. Selle kõrge puhtusaste, suurepärane korrosioonikindlus ja ühtlane termiline profiil muudavad selle suurepäraseks valikuks neile, kes otsivad kandurit, mis talub pooljuhtide tootmisprotsessi nõudeid.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie ränidioksiidiga kaetud plaadikandurid MOCVD jaoks on kõrge puhtusastmega, mistõttu on see suurepärane valik neile, kes otsivad kandjat, mis on oma omadustelt väga ühtlane ja ühtlane.
Meie SiC-kattega plaadikandurid MOCVD jaoks on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidkattega grafiidil, mis muudab selle väga vastupidavaks oksüdatsioonile kõrgetel temperatuuridel kuni 1600 °C. Selle valmistamisel kasutatav CVD keemiline aurustamise-sadestamise protsess tagab kõrge puhtuse ja suurepärase korrosioonikindluse. See on väga korrosioonikindel, tiheda pinna ja peente osakestega, muutes selle vastupidavaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide suhtes. Selle kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus tagab stabiilsuse kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C.

SiC-kattega plaatkandjate parameetrid MOCVD jaoks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega grafiidisusceptori omadused MOCVD jaoks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut