Pooljuhtplaatide kandja MOCVD-seadmetele

Võite olla kindel, et ostate meie tehasest pooljuhtplaatide kanduri MOCVD-seadmete jaoks. Pooljuhtplaatide kandurid on MOCVD-seadmete oluline komponent. Neid kasutatakse pooljuhtplaatide transportimiseks ja kaitsmiseks tootmisprotsessi ajal. MOCVD seadmete pooljuhtplaatide kandurid on valmistatud kõrge puhtusastmega materjalidest ja on loodud säilitama vahvlite terviklikkust töötlemise ajal.

Saada päring

Tootekirjeldus

meie pooljuhtplaatide kandur MOCVD-seadmetele on pooljuhtide tootmisprotsessi oluline komponent. See on valmistatud CVD-meetodil ränikarbiidkattega kõrge puhtusastmega grafiidist ja on mõeldud mitme vahvli mahutamiseks. Kandur pakub mitmeid eeliseid, sealhulgas parem saagikus, suurem tootlikkus, väiksem saastumine, suurem ohutus ja kulutõhusus. Kui otsite MOCVD-seadmete jaoks usaldusväärset ja kvaliteetset pooljuhtplaatide kandurit, on meie toode ideaalne lahendus.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie MOCVD-seadmete pooljuhtplaatide kanduri kohta.

MOCVD-seadmete pooljuhtplaatide kanduri parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega grafiidisusceptori omadused MOCVD jaoks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut