Planetaarne ketas

Planetary Disk on revolutsiooniline vahvlikandja ja sustseptor, mis on loodud molekulaarkiirepitaksia (MBE) protsesside jaoks metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) ahjudes. Kvaliteetsetest materjalidest valmistatud Planetary Disk on loodud tõstma teie pooljuhtide tootmist uutesse kõrgustesse.

Planetaarne ketas on hoolikalt valmistatud CVD SiC-ga kaetud grafiidist, tagades erakordse termilise stabiilsuse, kõrge puhtuse ja vastupidavuse äärmuslikele temperatuuridele. See täiustatud materjali koostis tagab suurepärase jõudluse ja pikaealisuse nõudlikes MOCVD keskkondades.

Grafiitalusel olev CVD SiC kate suurendab soojusjuhtivust, soodustades tõhusat soojusülekannet MOCVD protsessi ajal. See funktsioon ei taga mitte ainult ühtlast temperatuuriprofiili kogu vahvlil, vaid aitab kaasa ka termilise stressi vähendamisele ja üldisele saagise paranemisele.

Planetary Disk on kohandatud, mis ühildub paljude pooljuhtplaatide suurustega, muutes selle mitmekülgseks lahenduseks erinevate tootmisnõuete jaoks. Ehitatud vastu pidama MOCVD ahjude rangetele nõudmistele, on Planetary Disk erakordne vastupidavus ja töökindlus. Selle tugev konstruktsioon tagab pikaajalise jõudluse, vähendades seisakuid ja hoolduskulusid, mis on seotud vahvlikandjate ja sustseptoritega.