MOCVD vahvlikandjad pooljuhttööstusele

Semicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry on tipptasemel kandur, mis on mõeldud kasutamiseks pooljuhtide tööstuses. Selle kõrge puhtusastmega materjal tagab ühtlase termilise profiili ja laminaarse gaasivoolu mustri, pakkudes kvaliteetseid vahvleid.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie pooljuhtidetööstusele mõeldud MOCVD vahvlikandurid on väga puhtad, valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes, tagades toote ühtluse ja konsistentsi. Samuti on see väga korrosioonikindel, tiheda pinna ja peente osakestega, mis muudab selle vastupidavaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide suhtes. Selle kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus tagab stabiilsuse kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie pooljuhttööstusele mõeldud MOCVD vahvlikandjate kohta.

MOCVD vahvlikandjate parameetrid pooljuhtide tööstusele

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega grafiidisusceptori omadused MOCVD jaoks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut