Vahvlikandja kandik

Semicorex pakub pooljuhtkvaliteediga keraamikat teie OEM-i poolvalmistustööriistadele ja vahvlite käitlemise komponente, keskendudes ränikarbiidi kihtidele pooljuhtide tööstuses. Oleme juba aastaid olnud vahvlikanduri aluse tootja ja tarnija. Meie vahvlikandikul on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex ei tarni mitte ainult õhukese kile sadestamise faaside jaoks, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemiseks, vaid ka ülipuhast keraamilist kandjat, mida kasutatakse vahvlite toetamiseks. Protsessi keskmes on MOCVD vahvlikandja alus kõigepealt sadestamise keskkonnas, nii et sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. SiC-ga kaetud kandjal on ka kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie vahvlikanduri aluse kohta.

Vahvlikandja aluse parameetrid

Tehnilised omadused
Indeks	Üksus	Väärtus
Materjali nimi		Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid	Survevaba paagutatud ränikarbiid	Ümberkristallitud ränikarbiid
Koosseis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Puistetihedus	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Paindetugevus	MPa (kpsi)	338(49)	380 (55)	80–90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Survetugevus	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kõvadus	Nupp	2700	2800	/
Vastupidavuse murdmine	MPa m1/2	4.5	4	/
Soojusjuhtivus	W/m.k	95	120	23
Soojuspaisumise koefitsient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Erisoojus	Džauli/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimaalne õhutemperatuur	℃	1200	1500	1600
Elastne moodul	Gpa	360	410	240

Erinevus SSiC ja RBSiC vahel:

1. Paagutamisprotsess on erinev. RBSiC on infiltreerida vaba Si madalal temperatuuril ränikarbiidi, SSiC tekib loomulikul kokkutõmbumisel 2100 kraadi juures.

2. SSiC-l on siledam pind, suurem tihedus ja suurem tugevus, mõnede rangemate pinnanõuetega tihendite puhul on SSiC parem.

3. Erinev kasutusaeg erineva PH ja temperatuuri juures, SSiC on pikem kui RBSiC

Vahvlikandja aluse omadused

- CVD ränikarbiidkatted kasutusea pikendamiseks.
- Suure jõudlusega puhastatud jäigast süsinikust valmistatud soojusisolatsioon.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge puhtusastmega grafiit ja SiC kate, mis tagab aukude vastupidavuse ja pikema eluea

Ränikarbiidkeraamika saadaolevad kujud:

● Keraamiline varras / keraamiline tihvt / keraamiline kolb

● Keraamiline toru / keraamiline puks / keraamiline hülss

● Keraamiline rõngas / keraamiline seib / keraamiline vahetükk

● Keraamiline ketas

● Keraamiline plaat / keraamiline plokk

● Keraamiline pall

● Keraamiline kolb

● Keraamiline otsik

● Keraamiline tiigel

● Muud kohandatud keraamilised osad