Vahvlikandja pooljuht

Semicorex pakub pooljuhtkvaliteediga keraamikat teie OEM-i poolvalmistustööriistadele ja vahvlite käitlemise komponente, keskendudes ränikarbiidi kihtidele pooljuhtide tööstuses. Oleme juba aastaid olnud Wafer Carrier Semiconductori tootja ja tarnija. Meie Wafer Carrier Semiconductoril on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Pooljuhtide sadestamise protsessides kasutatakse lenduvate lähtegaaside, plasma ja kõrge temperatuuri kombinatsiooni kvaliteetsete õhukeste kilede kihistamiseks vahvlitele. Sadestuskambrid ja vahvlite käitlemise tööriistad vajavad vastupidavaid keraamilisi komponente, et nendes keerulistes keskkondades vastu pidada. Semicorex Wafer Carrier Semiconductor on kõrge puhtusastmega ränikarbiid, millel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie Wafer Carrier Semiconductori kohta.

Wafer Carrier Semiconductori parameetrid

Tehnilised omadused
Indeks	Üksus	Väärtus
Materjali nimi		Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid	Survevaba paagutatud ränikarbiid	Ümberkristallitud ränikarbiid
Koosseis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Puistetihedus	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Paindetugevus	MPa (kpsi)	338(49)	380 (55)	80–90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Survetugevus	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kõvadus	Nupp	2700	2800	/
Vastupidavuse murdmine	MPa m1/2	4.5	4	/
Soojusjuhtivus	W/m.k	95	120	23
Soojuspaisumise koefitsient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Erisoojus	Džauli/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimaalne õhutemperatuur	℃	1200	1500	1600
Elastne moodul	Gpa	360	410	240

Erinevus SSiC ja RBSiC vahel:

1. Paagutamisprotsess on erinev. RBSiC on infiltreerida vaba Si madalal temperatuuril ränikarbiidi, SSiC tekib loomulikul kokkutõmbumisel 2100 kraadi juures.

2. SSiC-l on siledam pind, suurem tihedus ja suurem tugevus, mõnede rangemate pinnanõuetega tihendite puhul on SSiC parem.

3. Erinev kasutusaeg erineva PH ja temperatuuri juures, SSiC on pikem kui RBSiC

Wafer Carrier Semiconductori omadused

- Madalam lainepikkuse hälve ja suurem kiibi saagis
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Rangemad mõõtmete tolerantsid toovad kaasa suurema toote saagise ja madalamad kulud
- Kõrge puhtusastmega grafiit ja SiC kate, mis tagab aukude vastupidavuse ja pikema eluea

Ränikarbiidkeraamika saadaolevad kujud:

● Keraamiline varras / keraamiline tihvt / keraamiline kolb

● Keraamiline toru / keraamiline puks / keraamiline hülss

● Keraamiline rõngas / keraamiline seib / keraamiline vahetükk

● Keraamiline ketas

● Keraamiline plaat / keraamiline plokk

● Keraamiline pall

● Keraamiline kolb

● Keraamiline otsik

● Keraamiline tiigel

● Muud kohandatud keraamilised osad