Vahvlipaadid

Kõrgpuhustusega räni karbiidist (SIC) toodetud Semicorexi vahvlid on olulised komponendid pooljuhtide valmistamisel. Pooljuhtide protsessid, milles neid kasutatakse, hõlmavad tavaliselt kõrgtemperatuuri ja söövitavaid keskkondi nagu difusioon, oksüdatsioon ja LPCVD protsessid. SIC -vahvlite kasutamine on konstrueeritud nii, et maksimeerida termilist stabiilsust ja keemilist vastupidavust, võimaldades optimaalse saagise ja seadme jõudluse jaoks optimaalset tuge, joondamist ja transportimisvahid töötlemise ajal.

Ränikarbiid on hästi dokumenteeritud kui suurepärane termiliselt juhtiv keraamika, millel on kõrge mehaaniline tugevus ja parem termiline šokikindlus, oksüdatsiooniresistentsus ja agressiivne keemiline resistentsus kemikaalidega nagu HF ja HCL. SIC omadused muudavad selle eriti atraktiivseks vahvlipaatide materjalina järgmise põlvkonna pooljuhtide valmistamisprotsesside ja kõrgtemperatuuriga keskkonnas. SIC vahvlid võivad säilitada struktuurilise terviklikkuse ja mõõtmete stabiilsuse protsessi temperatuuridel> 1500 ° C, minimeerides vahvlite väändumise või saastumise riski kriitilise termilise töötlemise korral.

Iga sicvahvlipaaton toodetud kõrgpuhustusega SIC-st, kasutades täiustatud keraamilisi moodustamis- ja paagutamisprotsesse, ning seda saab kohandada laiaulatuslikuks vahvli läbimõõtudeks (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), samuti vertikaalsete või horisontaalsete konfiguratsioonide jaoks. Meie SIC -vahvlipaatidel on siledad pinnad ja suurepärane tasasus, mis minimeerib osakeste genereerimist ja sobivad ideaalselt automatiseeritud vahvli käitlemissüsteemide jaoks.

Saastekontroll ja saak on tänapäeva FAB -de kaks kõige kriitilisemat küsimust. SIC vahvlite kandjate puhtus ja usaldusväärsus mõjutavad toote kvaliteeti ja järjepidevuse protsessi jõudlust.  SIC -vahvlipaatidel on kasutamiseks palju parem pikaealisus, neil on vähem hooldusnõudeid ja madalam TCO kui kvartsil või alumiiniumoksiidil põhinevatel alternatiividel. Parem pikaealisus tähendab ka väiksemaid probleeme mikroosakeskuse laskumisega, mõjutades jällegi vahvli pinna puhtust ja mõjutades puhta ruumi puhtust.

Semicorex on keskendunud SIC -vahvlite paatide kavandamisele ja tootmisele, mis kasutavad võimalikult kõrgel puhtuse toorainet koos madala saastumisega atmosfääri paagutamisega.  Teeme kõik endast oleneva, et säilitada madala lisanditaseme, madala väärtusega poorsuse ja ühtlase mikrostruktuuri säilitamiseks, et meeskonna töö saaks regulaarselt nautida järjepidevaid termilisi omadusi, täpset vahvli vahekaugust ja keemilise lagunemiskindluse.

Semicorex sicvahvlipaadidon pooljuhtide kõrge temperatuuri töötlemise vajalik element. Kõrge puhtusastmega räniseeskirjade vahvlipaatidel on enneolematuid materiaalseid omadusi, konstrueeritud tipptasemel ja mikrotamiinimisvaba temperament, muudavad need kõrge jõudlusega vahvli valmistamiseks. Semicorex pakub usaldusväärsust ja uuenduslikku suure tulemuslikkuse, et toetada teie kõige missiooni kriitilisi pooljuhtide protsesse.