Vahvlipaat pooljuhtprotsesside jaoks

Semicorex pakub vahvlipaate, pjedestaale ja kohandatud vahvlikandjaid nii vertikaalsete / kolonnide kui ka horisontaalsete konfiguratsioonide jaoks. Oleme aastaid olnud ränikarbiidist kattekile tootja ja tarnija. Meie pooljuhtprotsessile mõeldud vahvlipaadil on hea hinnaeelis ja see hõlmab enamikku Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex SiC vahvlipaat pooljuhtprotsessi jaoks, parim lahendus vahvlite käsitsemiseks ja kaitsmiseks pooljuhtide valmistamisel. Meie vahvelpaat pooljuhtprotsessi jaoks on valmistatud kvaliteetsest ränikarbiidist, millel on hea korrosioonikindlus ja suurepärane vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ja termilisele šokile. Täiustatud keraamika tagab suurepärase soojustakistuse ja plasma vastupidavuse, vähendades samal ajal suure võimsusega vahvlikandjate osakesi ja saasteaineid.

Vahvlipaadi parameetrid pooljuhtprotsessi jaoks

Tehnilised omadused
Indeks	Üksus	Väärtus
Materjali nimi		Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid	Survevaba paagutatud ränikarbiid	Ümberkristallitud ränikarbiid
Koosseis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Puistetiheduse	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Paindetugevus	MPa (kpsi)	338(49)	380 (55)	80–90 (20 °C)90–100 (1400 °C)
Survetugevus	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kõvadus	Knoop	2700	2800	/
Vastupidavuse murdmine	MPa m1/2	4.5	4	/
Soojusjuhtivus	W/m.k	95	120	23
Soojuspaisumise koefitsient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Erisoojus	Džauli/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimaalne õhutemperatuur	℃	1200	1500	1600
Elastne moodul	Gpa	360	410	240

Vahvlipaadi omadused pooljuhtprotsessi jaoks

Suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus
Peen SiC kristallkattega sileda pinna saavutamiseks
Kõrge vastupidavus keemilise puhastuse vastu
Materjal on disainitud nii, et ei tekiks pragusid ega kihistumist.