Vahvlipaadi kandur

Semicorex Wafer Boat Carrier on valmistatud grafiidist, mis on tuntud oma erakordse tugevuse ja kaalu suhte ning soojusjuhtivuse poolest. Kuid selle vastupidavuse suurendamiseks läbib iga anum CVD SiC katmisprotsessi. See kate mitte ainult ei tugevda paati karmide töötlemiskeskkondade eest, vaid kaitseb seda ka keemilise korrosiooni ja termiliste šokkide eest, tagades pikaealisuse ja töökindluse ka kõige nõudlikumates tingimustes.

Vahvlipaadihoidja on disainitud detailidele hoolika tähelepanuga. Selle struktuur on optimeeritud maksimaalse tõhususe ja ohutuse tagamiseks, täpsete mõõtmete ja hoolikalt kavandatud geomeetriaga, mis tagavad õrnade pooljuhtplaatide turvalise ja stabiilse paigutuse töötlemise ajal. See vähendab kahjustuste või saastumise ohtu.

Wafer Boat Carrier on mitmekülgne lahendus, mida saab kohandada paljudele rakendustele. Seda saab kasutada epitaksiaalses kasvus, keemilises aurustamises ja muudes pooljuhtide tootmisprotsessides. Selle vastupidav konstruktsioon ja keemiline inertsus muudavad selle ühilduvaks paljude protsesside keemiaga, tagades sujuva integreerimise erinevatesse töötlemiskeskkondadesse.