Vaakumkatted

Semicorexi vaakumpuhad on täppismootoriga lahendused, mis on loodud vahvlite turvalise, stabiilse ja tõhusa käitlemiseks pooljuhtide tootmisprotsessides. Neid vaakuminguid kasutatakse peamiselt vahvlite hoidmiseks erinevatel töötlemisetappidel, tagades vahvlite minimaalse kahjustuse, maksimaalse stabiilsuse ja protsessi tõhususe tõhususe. Meie vaakumpukse on saadaval erinevates põhimaterjalides ja keraamilistes plaatides, pakkudes kohandatud lahendusi, et rahuldada pooljuhtide tööstuse ja muude täppisitööstuse mitmekesiseid vajadusi.

Põhifunktsioonid ja materjalid

Semicorex pakub vaakum -padruni jaoks mitmesuguseid baasmaterjali valikuid, mis võimaldavad kohandamist konkreetsetel rakendusnõuetel:

Baasmaterjalid:

• Sus430: roostevabast terasest alusmaterjal, mis on tuntud oma tugevuse ja korrosioonikindluse poolest, pakkudes suurepärast mehaanilist stabiilsust.
• Alumiiniumsulam 6061: kerge, kuid tugev, see alumiiniumist alus pakub suurt korrosioonikindlust ja sobib ideaalselt rakenduste jaoks, kus kaal on murettekitav.
• Alumiiniumoksiidi keraamiline (99% alumiiniumoksiid): pakub kõrget termilist stabiilsust ja kulumiskindlust. See on suurepärane valik ülitäpse keskkonna jaoks, kus termiline vastupidavus on kriitiline.
• Graniit: tuntud oma jäikuse ja kõrgema vibratsiooni summutavate omaduste poolest, pakub graniit vahvli käitlemise ajal suurepärast stabiilsust ja täpsust.
• Ränikarbiid (sic) keraamika: pakub suurt kõvadust, soojusjuhtivust ja keemilise korrosiooni vastupidavust. See sobib suurepäraselt kõrgtemperatuuride ja agressiivse keskkonna jaoks.

Keraamilised taldrikud:

Alumiiniumoksiid (al₂O₃): alumiiniumoksiidiplaadid on tuntud oma kõrge elektriisolatsiooni omaduste, kulumiskindluse ja kõrge temperatuuri stabiilsuse poolest. Need sobivad keskkondades, kus on ülioluline minimaalne saastumine ja suure jõudlus.

Ränikarbiid (SIC): SIC -keraamilised plaadid pakuvad erakordset kõvadust, kõrget soojusjuhtivust ja stabiilsust kõrgendatud temperatuuridel, muutes need ideaalseks vahvli käitlemise protsessideks pooljuhtide tootmisel.

Lamedus täpsus ja materjali valik

Chucki pinna tasasus on kriitiline tegur vahvli nõuetekohase käitlemise ja optimaalse protsessi tulemuste tagamisel. Materjali valik mõjutab lamedate täpsust, samuti vaakumkatte kogukaalu ja termilisi omadusi.

Lamedus täpsus:

Alumiiniumsulam 6061: tagab suurepärase tasapinna täpsusega, muutes selle populaarseks valikuks vähem nõudlike vahvlite käitlemise ülesannete jaoks.

SUS430: pakkudes tahket mehaanilist stabiilsust, on SUS430 täpsus pisut madalam kui alumiiniumisulamist.

Alumiiniumoksiidi keraamiline (99% alumiiniumoksiid): pakub parimat tasapinnalist täpsust, kuna selle kõrge mõõtme stabiilsus kõrge temperatuuri ja mehaanilise stressi korral.

Graniit: oma stabiilsuse poolest tuntud graniit pakub täpset tasasust, eriti vibratsioonitundlikes keskkondades.

Räni karbiidi keraamika: tagab silmapaistvuse täpsuse ja sobib ideaalselt ülitäpseks vahvli käitlemiseks kõrgtemperatuurides.

Kaalu kaalutlused

Vaakumpüünise kaal on veel üks oluline tegur, eriti rakenduste jaoks, kus peamine kaalutlus on Chucki käsitsemise ja manipuleerimise lihtsus.