Ränivahvli kandja

Semicorex pakub pooljuhtkvaliteediga keraamikat teie OEM-i poolvalmistustööriistadele ja vahvlite käitlemise komponente, keskendudes ränikarbiidi kihtidele pooljuhtide tööstuses. Oleme aastaid olnud Silicon Wafer Carrieri tootja ja tarnija. Meie Silicon Wafer Carrieril on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Pooljuhtide sadestamise protsessides kasutatakse lenduvate lähtegaaside, plasma ja kõrge temperatuuri kombinatsiooni kvaliteetsete õhukeste kilede kihistamiseks vahvlitele. Sadestuskambrid ja vahvlite käitlemise tööriistad vajavad vastupidavaid keraamilisi komponente, et nendes keerulistes keskkondades vastu pidada.
Semicorex Silicon Wafer Carrier on kõrge puhtusastmega ränikarbiid, millel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus.

Silicon Wafer Carrieri parameetrid

Tehnilised omadused
Indeks	Üksus	Väärtus
Materjali nimi		Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid	Survevaba paagutatud ränikarbiid	Ümberkristallitud ränikarbiid
Koosseis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Puistetihedus	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Paindetugevus	MPa (kpsi)	338(49)	380 (55)	80–90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Survetugevus	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kõvadus	Nupp	2700	2800	/
Vastupidavuse murdmine	MPa m1/2	4.5	4	/
Soojusjuhtivus	W/m.k	95	120	23
Soojuspaisumise koefitsient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Erisoojus	Džauli/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimaalne õhutemperatuur	℃	1200	1500	1600
Elastne moodul	Gpa	360	410	240

Erinevus SSiC ja RBSiC vahel:

1. Paagutamisprotsess on erinev. RBSiC on infiltreerida vaba Si madalal temperatuuril ränikarbiidi, SSiC tekib loomulikul kokkutõmbumisel 2100 kraadi juures.

2. SSiC-l on siledam pind, suurem tihedus ja suurem tugevus, mõnede rangemate pinnanõuetega tihendite puhul on SSiC parem.

3. Erinev kasutusaeg erineva PH ja temperatuuri juures, SSiC on pikem kui RBSiC

Silicon Wafer Carrieri omadused

Kõrge puhtusastmega SiC kaetud grafiit
Suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus
Peen SiC kristallkattega sileda pinna saavutamiseks
Kõrge vastupidavus keemilise puhastuse vastu
Materjal on disainitud nii, et ei tekiks pragusid ega kihistumist.

Ränikarbiidkeraamika saadaolevad kujud:

● Keraamiline varras / keraamiline tihvt / keraamiline kolb

● Keraamiline toru / keraamiline puks / keraamiline hülss

● Keraamiline rõngas / keraamiline seib / keraamiline vahetükk

● Keraamiline ketas

● Keraamiline plaat / keraamiline plokk

● Keraamiline pall

● Keraamiline kolb

● Keraamiline otsik

● Keraamiline tiigel

● Muud kohandatud keraamilised osad