Räni karbiidi vaakum Chuck

Semicorexi räni karbiidi vaakum Chuck on oluline osa pooljuhtide tootmisest protsesside jaoks, mis vajavad suurt täpsust ja madalat saastumist. Vaakumipartlid on valmistatud suure puiduga poorse räni karbiidi keraamikast ja need pakuvad suurepärase mehaanilise tugevuse, soojusjuhtivuse ja keemilise inertsuse ning sellel on täpselt kontrollitud pooride struktuur usaldusväärse vaakumipeetuse jaoks. Räni karbiidi vaakumpüük on funktsionaalne adsorptsiooniseade, mis on valmistatud räni karbiidi (SIC) keraamilisest materjalist, mis tugineb vaakumi negatiivsele rõhkule, elektrostaatilisele adsorptsioonile või mehaanilisele kinnitusele, et saada tooriku stabiilne haare. Vaakumkatteid on kasutatud pooljuhtide, fotogalvaanide, täpse tootmise ja muude rakenduste puhul, millel on erakordselt suured nõudmised materiaalse kõrge temperatuuri vastupidavuse, kulumiskindluse ja puhtuse järele.

Baaspadrunon poorne sic -materjal, millel on prognoositav õhk läbilaskmine kogu pinnal. See tähendab, et on võimalik vahvlit ohutult adsorbeerida ilma mehaanilise klambita ja seetõttu ebaoluline füüsilise kahjustuse või proovi saastumise potentsiaal ebaoluliseks muuta. Materjali poorsust kontrollitakse tihedalt - tavaliselt on poorsus 35–40% -, et tagada vaakumjaotus, kuid vastab ka püsivale termilisele ja mehaanilisele tsüklile struktuurinõuetele.

Vahvli vaakumon tavaliselt valmistatud kõvast pinnast, mille pinnal on palju väikeseid auke või kanaleid. Nende väikeste aukude kaudu saab chucki ühendada vaakumpumbaga, mis loob vaakumiefekti. Kui vahvel padrunile asetatakse, lülitatakse vaakumpump sisse ja õhk tõmmatakse läbi väikeste aukude, luues vaakumi vahvli ja padruni vahel. See vaakumiefekt loob piisavalt imemise, et vahvli kindlalt kinnitada chucki pinnale.

Keraamilisi pindu kasutatakse sageli rakendustes, mis nõuavad suurt puhtust ja keemilist stabiilsust. Keraamika on materjalid, mis on toodetud mineraalide kõrge temperatuuriga sulandumisel. Üldiselt on keraamika elektriisolaatorid või pooljuhid ning neil on kõrge vastupidavus termilise lagunemise, erosiooni ja kahjustuste suhtes.

Semicorex ehitab kohandatud räni karbiidi vaakum, mis on kliendi spetsifikatsioonidele selliste asjade jaoks nagu mõõtmed, poorsus, pinna viimistlus ja vaakumkanalite mustrid. Tootmis- ja puhta ruumi võimaluste tulemusel pakume parimaid tahkete osakeste vähendamise ja puhtuse korral kõigi pooljuhtide FAB -de ja seadmete tootjate puhtuse nõudeid.

Saame teha iga suurusega vahvli, alates 2-tollise kuni 12-tollise vahvli ja kohaneda, et integreerida padrun paljudesse vahvlite töötlemisseadmete hulka. Seda saab kasutada esiotsa protsesside ja/või taustaprotsesside jaoks, muutes SIC-vaakum Chucki ökonoomseks, täpseks, stabiilseks ja saastumisvabaks vahvli toetamiseks pooljuhtide FAB-i töövoos.

Silicon Carbiidi vaakum Chuck on tänapäeva pooljuhtide tootmisel oluline tööriist, ühendades parimad materjalid ja inseneri. Vastupidav ja kleepuv usaldusväärsus termiliste ja keemiliste äärmuste kaudu muudavad selle täiuslikuks toeks protsessirakendustes, mis hõlmavad vahatamist, vedeldamist, puhastamist ja RTA -d. Hankides oma räni karbiidi vaakum Chuck läbi Semicorexi kaudu, tagate parimate tulemuste parimate tulemuste jaoks parimad materiaalsed puhtused, kohandatud lahendused ja usaldusväärne jõudlus.