Semicorex on ränikarbiidiga ränikarbiidiga kaetud tünnsusceptori, täppistöötlusega kõrge puhtusastmega grafiidi juhtiv sõltumatu omanduses olev tootja, mis keskendub ränikarbiidiga kaetud grafiidile, ränikarbiidi keraamikale ja pooljuhtide tootmise MOCVP valdkondadele. Meie ränikarbiidist ränikarbiidiga kaetud tünnsusceptoril on hea hinnaeelis ja see katab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
SemicorexRänikarbiidiga SiC kaetud tünni sustseptoron kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiittoode, millel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. See sobib LPE jaoks. TheRänikarbiidSiC Coated Barrel Susceptor, mida kasutatakse protsessides, mis moodustavad pooljuhtplaatidele epiksiaalse kihi, millel on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
Meie kohta lisateabe saamiseks võtke meiega ühendust juba tänaRänikarbiidSiC-kattega tünni sustseptor.
ParameetridRänikarbiidiga kaetud ränikarbiidigaTünni vastuvõtja
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
OmadusedRänikarbiidiga kaetud ränikarbiidigaTünni vastuvõtja
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.