Semicorexi SiC-kattega sustseptorbarrel LPE reaktorikambri jaoks on ülimalt usaldusväärne lahendus pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks, millel on suurepärased soojusjaotuse ja soojusjuhtivuse omadused. Samuti on see väga vastupidav korrosioonile, oksüdatsioonile ja kõrgetele temperatuuridele.
Semicorexi SiC-kattega sustseptorbarrel LPE reaktorikambri jaoks on esmaklassiline toode, mis on valmistatud kõrgeimate täpsuse ja vastupidavuse standardite kohaselt. See pakub suurepärast soojusjuhtivust, korrosioonikindlust ja sobib suurepäraselt LPE-rakendustega pooljuhtide tootmisel.
Meie SiC-kattega sustseptortünn LPE reaktorikambri jaoks on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie SiC-kattega sustseptorsilindri kohta LPE reaktorikambri jaoks.
SiC-kattega sustseptori silindri parameetrid LPE reaktorikambri jaoks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
SiC-kattega sustseptorsilindri omadused LPE reaktorikambri jaoks
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi soojuspaisumisteguri erinevust, parandage tõhusalt sideme tugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.