Karbiidkattega reaktori tünni sustseptor

Semicorexi karbiidiga kaetud reaktoritünn Susceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud esmaklassiline grafiittoode, mis on loodud spetsiaalselt LPE protsesside jaoks. Suurepärase kuuma- ja korrosioonikindlusega toode sobib suurepäraselt pooljuhtide tootmiseks.

Saada päring

Tootekirjeldus

Kui otsite suure jõudlusega grafiidist sustseptorit epitaksiaalse kihi moodustamiseks pooljuhtplaatidel, on Semicorexi karbiidkattega reaktori tünnsusceptor suurepärane valik. Selle ränikarbiidkate tagab suurepärase soojusjaotuse ja soojusjuhtivuse, tagades erakordse jõudluse isegi kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga keskkondades.

Semicorexis keskendume kvaliteetse ja kulutõhusa karbiidkattega reaktori tünni sustseptori pakkumisele, seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

Karbiidkattega reaktori silindri sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Karbiidkattega reaktori tünnsusceptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.