Semicorex SiC kate EPI 3 1/4" barrel Susceptor tagab suurepärase termilise stabiilsuse ja vastupidavuse keemilisele rünnakule, samas kui grafiidist aluspinnal on suurepärased soojusülekande omadused.
Semicorex EPI 3 1/4" barrel susceptor on kõrgekvaliteediline grafiittoode, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mis pakub erakordset kuuma- ja korrosioonikindlust. See on spetsiaalselt loodud LPE rakenduste jaoks pooljuhtide tootmises.
Meie EPI 3 1/4" tünnsusceptorid on mõeldud kasutamiseks erinevates tööstusharudes, sealhulgas lennunduses, autotööstuses ja elektroonikas. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimelise hinnaga ja pühendume pikaajalisele ehitamisele. suhted meie klientidega Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie kohtaSiC-kattegagrafiittiiglid ja kuidas need teie ettevõttele kasulikud võivad olla.
EPI 3 1/4" tünnsusceptori parameetrid
Peamised spetsifikatsioonidCVD-SICKatmine |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
EPI 3 1/4" tünnipesa omadused
SiC katetagab suurepärase termilise stabiilsuse ja vastupidavuse keemilisele rünnakule
Grafiitpõhimik pakub suurepäraseid soojusülekande omadusi
Kõrge tihedus ja kõvadus
Kõrge keemilise puhtusega
Kõrge soojusmahtuvus
Kõrge sublimatsiooni temperatuur
Kõrge paindetugevus
Kõrge Youngi moodul
Madal soojuspaisumistegur
Kõrge soojusjuhtivus