SiC-kattega epitaksiaalreaktori tünn

Semicorex SiC kaetud epitaksiaalreaktori barrel on kõrgekvaliteediline grafiittoode, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga. Selle suurepärane tihedus ja soojusjuhtivus muudavad selle ideaalseks valikuks kasutamiseks LPE protsessides, pakkudes erakordset soojusjaotust ja kaitset söövitavas ja kõrge temperatuuriga keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Pooljuhtide valmistamisel on Semicorexi SiC-kattega epitaksiaalreaktori tünn parim valik suurepärase jõudluse ja erakordse soojusjaotuse tagamiseks. Kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiittoode tagab suurepärase korrosiooni- ja kuumakindluse, tagades iga kord usaldusväärsed ja ühtlased tulemused.

Semicorexis keskendume oma klientidele kvaliteetsete ja kulutõhusate toodete pakkumisele. Meie ränidioksiidiga kaetud epitaksiaalreaktori tünnil on hinnaeelis ja seda eksporditakse paljudele Euroopa ja Ameerika turgudele. Meie eesmärk on olla teie pikaajaline partner, pakkudes ühtlase kvaliteediga tooteid ja erakordset klienditeenindust.

SiC-kattega epitaksiaalreaktori tünni parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega epitaksiaalreaktori tünni omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.