Ränikarbiidkeraamika (SiC) on täiustatud keraamiline materjal, mis sisaldab räni ja süsinikku. Ränikarbiidi terad saab paagutamise teel omavahel siduda, moodustades väga kõva keraamika. Semicorex tarnib kohandatud ränikarbiidist keraamikat vastavalt teie vajadustele.
Rakendused
Ränikarbiidkeraamika puhul jäävad materjali omadused konstantseks kuni temperatuurini üle 1400°C. Suur Youngi moodul > 400 GPa tagab suurepärase mõõtmete stabiilsuse.
Ränikarbiidi komponentide tüüpiline rakendus on dünaamiline tihendustehnoloogia, mis kasutab hõõrdlaagreid ja mehaanilisi tihendeid, näiteks pumpades ja ajamisüsteemides.
Täiustatud omadustega ränikarbiidist keraamika sobib ideaalselt kasutamiseks ka pooljuhtide tööstuses.
Vahvlipaadid →
Semicorex Wafer Boat on valmistatud paagutatud ränikarbiidkeraamikast, millel on hea korrosioonikindlus ja suurepärane vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ja termilisele šokile. Täiustatud keraamika tagab suurepärase soojustakistuse ja plasma vastupidavuse, vähendades samal ajal suure võimsusega vahvlikandjate osakesi ja saasteaineid.
Reaktsiooniga paagutatud ränikarbiid
Võrreldes teiste paagutamisprotsessidega on tihendamisprotsessi ajal tekkiva reaktsioonipaagutamise suuruse muutus väike ja saab valmistada täpsete mõõtmetega tooteid. Kuid suure koguse SiC olemasolu paagutatud kehas halvendab reaktsiooniga paagutatud SiC keraamika kõrge temperatuuri jõudlust.
Survevaba paagutatud ränikarbiid
Survevaba paagutatud ränikarbiid (SSiC) on eriti kerge ja samal ajal kõva suure jõudlusega keraamika. SSiC iseloomustab kõrge tugevus, mis jääb peaaegu konstantseks isegi äärmuslikel temperatuuridel.
Ümberkristalliline ränikarbiid
Ümberkristallitud ränikarbiid (RSiC) on järgmise põlvkonna materjalid, mis saadakse kõrge puhtusastmega ränikarbiidi jämeda pulbri ja kõrge aktiivsusega ränikarbiidi peene pulbri segamisel ning pärast vuukimist vaakumpaagutamisel temperatuuril 2450 °C ümberkristallimiseks.
Semicorex pakub pooljuhtkvaliteediga keraamikat teie OEM-i poolvalmistustööriistade ja vahvlite käitlemise komponentide jaoks. Oleme aastaid olnud ränikarbiidist kattekile tootja ja tarnija. Meie keraamilisel teljehülsil on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex pakub pooljuhtkvaliteediga keraamikat teie OEM-i poolvalmistustööriistade ja vahvlite käsitsemise komponentide jaoks. Oleme aastaid olnud ränikarbiidist kattekile tootja ja tarnija. Meie SiC Axle Sleeve'il on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi täiustatud, kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud komponendid on loodud vastu pidama äärmuslikele keskkondadele vahvlite käitlemise protsessis. Meie Semiconductor Wafer Chuckil on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ülipuhtad keraamilised komponendid, mis sobivad suurepäraselt järgmise põlvkonna litograafia ja vahvlite käitlemiseks, tagavad minimaalse saastumise ja erakordselt pika tööea. Meie vahvlivaakumpadrunil on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks on loodud vastu pidama pooljuhtide töötlemisel kasutatavate plasmasöövituskambrite ekstreemsetes keskkondades. Meie fookusrõngad on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist, mis on kaetud tiheda kulumiskindla ränikarbiidi (SiC) kattega. SiC-kattel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname ränidioksiidi õhukeste kihtidena grafiidile, kasutades keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi, et parandada fookusrõngaste kasutusiga.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Plasma töötlemise fookusrõngas on spetsiaalselt loodud vastama plasma söövitamise töötlemise kõrgetele nõudmistele pooljuhtide tööstuses. Meie täiustatud, kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud komponendid on ehitatud taluma äärmuslikke keskkondi ja sobivad kasutamiseks erinevates rakendustes, sealhulgas ränikarbiidikihtides ja epitaksilistes pooljuhtides.
Loe rohkemSaada päring