Horisontaalkamber ahjud sic paadid

Semicorexi horisontaalkambri ahjud sic-paadid on kõrgelt ehitatud osa, mis hoiab ja kannab vahvleid või substraate, kui neid horisontaalses kambri ahjus on kõrge temperatuuriga termiline töötlemine. Vahvlipaat on valmistatud kõrge puhtusarjaga sic-ga Ränikarbiid (sic), mis annab ainulaadse tugevuse, termilise stabiilsuse ja kõrge keemilise vastupidavuse kombinatsiooni, mida nõutakse pooljuhtide, fotogalvaaniliste ja täiustatud keraamikaprotsesside korral. Vahvikpaat toimib ka vahvlite omandi hoidmiseks jäiga struktuurina, mõõtmete stabiilsus ja vahvlite täpsus ei kaota laiendatud kokkupuute abil ekstreemsete protsesside temperatuuridega.

Räni karbiidi paremad omadused pakuvad horisontaalkambri ahju SIC -paatide jaoks paremat eelist, võrreldes tüüpiliste materjalidega vahvli paatide jaoks nagu kvarts või alumiiniumoksiid. Nad suudavad paremini taluda harva lühiajalist kuumutamist ja jahutustsüklit tänu nende kõrgele sulamistemperatuurile, termilisele šokikindlusele ja mehaanilisele tugevusele, sõltumata soojutsükli kuumutamise ja jahutamise kiirusest või äärmustest. Kuna horisontaalne ahi tugineb täielikult vahvlite positsioonide järjepidevusele ja protsessitingimuste kokkupuutele, näeb vahvlite nõuetekohane joondamine protsessi järjepideva saagise ja korratavuse tagamiseks. Madal soojuspaisumise koefitsient tähendab, et paat ei moonuta oma elu jooksul ning tagab vahvlite säilitatud kuju ja vahekauguse.

REBLYSTALLISEERITUD SIC peeneteraline ja tihe struktuur annab märkimisväärse resistentsuse oksüdatsioonile, korrosioonile ja saastumisele protsessigaaside ja kõrvalsaaduste abil. See muudab paadi eriti soodsaks protsesside jaoks agressiivsetes atmosfäärides nagu difusioon, oksüdatsioon, LPCVD ja lõõmutamine. SIC kõrge keemiline inersus väldib reaktsioone vahvlipindadega, säilitades sellega toote puhtuse ja minimeerides ahjus osakeste genereerimist. SIC -paadid võivad aidata tootjatel, kes peavad vastama rangetele puhtuse nõudmistele, pakkudes puhtamat töötlemiskeskkonda ja paremat vahvli kvaliteeti.

Neid paate saab toota mitmesuguste keerukate geomeetriate ja osaliselt spetsiifiliste mõõtmetega täppismehaaniliste ja moodustamistehnikatega. Kujundused kasutavad vahvleid turvaliseks hoidmiseks horisontaalses orientatsioonis ja ühtlaselt kogu vahvli pinda termiliste tingimustega. Slot-vahekaugust ja nurki saab optimeerida ka muude läbimõõtudega vahvlitega, näiteks 150 mm, 200 mm või 300 mm, ja otsest õhuvoolu töötlemise efektide ajal, saavutades samas töötlemiseks temperatuuri ühtluse.

Horisontaalkambri ahju SIC-paadid ei saa mitte ainult kavandada standardsete väljumiste korral, vaid neid saab töötada ka automatiseeritud vahvlilaaduritega, mille tulemuseks on sujuv integreerimine tänapäevastesse suure läbilaskevõimega tootmisliinidesse. Tugev disain muudab paadid ka vähem tõenäoliseks, et käitlemise ajal kiibib või puruneb ning vähendab seisakuid ja asendamiskulusid.

Soojusjuhtivusränikarbiidtähistab veel ühte peamist eelist, mis hõlbustab tõhusat soojusülekannet vahvlite ja ahju keskkonna vahel. Eeliseks on see, et tootjad suudavad saavutada ühtlasemaid töötlemistingimusi ja lühendada tsükli aegu, mis võib suurendada tootmise tõhusust. SIC -paadid annavad järjepidevaid ja korratavaid tulemusi, olenemata sellest, kas neid kasutatakse pooljuhtide vahvli valmistamiseks, päikeseenergia rakkude tootmiseks või muude täiustatud materjalide töötlemiseks kõrgendatud temperatuuridel.

Kokkuvõtlikult võib öelda, et horisontaalkambri ahjud SIC-paadid on tootjate võtmekomponent, kes soovivad toota vahvleid, millel on suure jõudlusega, pikaajalised ja saastumiskindlad vahvlekanded. Sellel on mehaaniline tugevus, termiline stabiilsus ja keemiline inerts, mis on horisontaalsete ahjude rakendustes võrreldamatu. Valides räni karbiidipaadid, saavad operaatorid kasutada paremat protsessi juhtimist, suuremat saagikust ja minimeerida hooldusest tulenevaid operatiivseid katkestusi. Üldiselt pakub see tõhusamaid ja kulutõhusaid toodanguid.