SIC oksüdatsioonitoru

Semicorex SIC oksüdatsioonitoru on valmistatud kõrge puhtusastmega räni karbiidi keraamikast, mis on loodud oksüdatsiooni, difusiooni või lõõmutamisprotsesside jaoks, mis on tavaliselt läbi viidud temperatuuril 1600 ° C. Horisontaalse või vertikaalse ahju osana on see kontrollitud keskkond, kuhu vahvleid kuumutatakse oksüdeerumise ajal. Oksüdatsioonitoru funktsioon on puhta, ühtlase ja stabiilse keskkonna pakkuda räni karbiidi (SIC) vahvlite termiliseks töötlemiseks energiaseadmete valmistamisel ja laia ribalaua pooljuhtide valmistamisel, kuna pideva potentsiaalse oksüdeeruva protsessi avamine on oksüdatsioonitorude jaoks esikohale suunatav. Kui kvartsi- ja alumiiniumoksiidi torusid leitakse aja jooksul sageli lagunemise, väändumise või keemilise lagunemise kaudu, on räni karbiidil erakordne vastupidavus termiliste šokkide väljakutsete, mehaanilise omaduste suurendamise ja keemilise inertsuse vastu. Need tegurid annavad räni karbiidi kui suurepärase võimaluse oksüdatsioonitorude jaoks suure töökindluse ja suure läbilaskevõimega keskkonnas.

Kasutades täiustatud vorme, näiteks külm isostaatiline pressimine ja survevaba paagutamine (või ümberkristallimine), tekitab Semicorex SIC-oksüdatsioonitorud, millel on tihe, gaasi- ja homogeenne mikrostruktuur. See annab jõudu ilma poorsuse riskita, võimaldades oksüdatsiooniprotsessil toimuda ilma saastumiseta. SIC -l on väga kõrge soojusjuhtivus, võimaldades ühtlast termilist jaotust vahvli koormuse tsooni ja vähendades seega soojusgradiente, mis võivad põhjustada väändunud vahvleid või defekte. Toru resistentsus hapete, aluste ja reaktiivsete gaaside suhtes hoiab ära soovimatu keemilise interaktsiooni vahvli pinnaga ja ka ahju keskkonna kaudu.

See ei hiilga, see ei deformeeru. Toru ei pea pärast mitut tootmistsüklit välja vahetama-see on pikaajaline termiline jalgrattakeskkond, mis muidu hävitaks väiksemaid materjale. Seetõttu ei tähenda ükski kõrgsageduslik katkestus madalaid tegevuskulusid ja see hoiab protsessi voolu ilma häireteta. See vähendab ka saastumisriske, mis võivad hõlpsalt vähendada saagikuse jõudlust järgmise põlvkonna pooljuhtide seadmetes, kus jälje lisandid mängivad kriitilist rolli. Semicorex toodab iga kasutatava ahju platvormi ja retsepti jaoks nii standardseid kui ka täielikult kohandatud torude mõõtmeid. Sise- ja välimise läbimõõt, pikkus, seina paksus ja pinna viimistlus on kõik parameetrid, mis võivad vajada reguleerimist, et käsitleda erinevaid spetsiifilisi termilisi ja mehaanilisi vajadusi; Alates laboratoorsetest teadus- ja arendustegevuse ahjudest kuni suurte tootmisliinideni-igal juhul vajab toru töötlemist, puhastamist ja kontrollimist, et tagada jõudlus.

Kvaliteedikontroll algab mõõtmete kontrollide, materjali tiheduse testide ja soojutsükli usaldusväärsuse valideerimisega iga SIC oksüdatsioonitoru jaoks. Tugev materiaalse jälgitavuse süsteem logib toote toorpulbri etapist kuni lõpliku ülevaatuseni. Selline kvaliteet annab klientidele püsiva käe meie SIC oksüdatsioonitorude pikaajalises stabiilsuses ja reprodutseeritavuses.

Valige Semicorex ja hankige partner tarnijal, kes ühendab täiustatud keraamikatehnika laiaulatusliku kontrolli ja reageerimise tehnilise toega, töötades algusest peale. Saame teada teie konkreetse ahjukeskkonna, protsessinõuete ja integratsiooniprobleemide kohta, et saaksime teile pakkuda kohandatud lahendusi, mis parandavad teie protsessi tulemusi ja tööriistade tööstust.

Semicorex SIC oksüdatsioonitoru tagab parima võimaliku soojusliku jõudluse keemilise stabiilsuse ja mehaanilise tugevusega. Sellest saab mis tahes kõrge temperatuuriga SIC-töötlemissüsteem, pakkudes oksüdatsiooni ajal ühtlast soojuskeskkonda ja lõõmutades täiustatud pooljuhtmaterjale. Tootjatele, kes vajavad, et ahjukomponendid oleksid usaldusväärsed, puhtad ja pikaajalised, on Semicorex tootevalik, mida toetavad teadmised ja kogemused, samuti standard, et pakkuda midagi parimat.