Semicorexi ränikarbiidiga kaetud grafiiditünn on ideaalne valik pooljuhtide tootmise rakendusteks, mis nõuavad kõrget kuumus- ja korrosioonikindlust. Selle erakordne soojusjuhtivus ja soojusjaotusomadused muudavad selle ideaalseks kasutamiseks LPE protsessides ja muudes kõrge temperatuuriga keskkondades.
Kui rääkida pooljuhtide valmistamisest, siis Semicorexi ränikarbiidiga kaetud grafiiditünn on erakordse jõudluse ja töökindluse jaoks parim valik. Selle kvaliteetne SiC kate ning suurepärane tihedus ja soojusjuhtivus tagavad suurepärase soojusjaotuse ja kaitse isegi kõige keerulisemates kõrge temperatuuriga ja korrodeerivates keskkondades.
Meie ränikarbiidiga kaetud grafiiditünn tagab ühtlase termilise profiili, tagades parima laminaarse gaasivoolu mustri. See hoiab ära saastumise või lisandite levimise vahvlisse, muutes selle ideaalseks kasutamiseks puhastes ruumides. Semicorex on Hiinas asuv ränikarbiidiga kaetud grafiidisusceptori suurtootja ja tarnija ning meie toodetel on hea hinnaeelis. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks pooljuhtide tööstuses.
Ränikarbiidiga kaetud grafiiditünni parameetrid
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Ränikarbiidiga kaetud grafiiditünni omadused
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.