Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlite töötlemise seadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvelpaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorex pakub pooljuhtkvaliteediga keraamikat teie OEM-i poolvalmistustööriistade ja vahvlite käsitsemise komponentide jaoks. Oleme aastaid olnud ränikarbiidist kattekile tootja ja tarnija. Meie SiC Axle Sleeve'il on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi täiustatud, kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud komponendid on loodud vastu pidama äärmuslikele keskkondadele vahvlite käitlemise protsessis. Meie Semiconductor Wafer Chuckil on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ülipuhtad keraamilised komponendid, mis sobivad suurepäraselt järgmise põlvkonna litograafia ja vahvlite käitlemiseks, tagavad minimaalse saastumise ja erakordselt pika tööea. Meie vahvlivaakumpadrunil on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks on loodud vastu pidama pooljuhtide töötlemisel kasutatavate plasmasöövituskambrite ekstreemsetes keskkondades. Meie fookusrõngad on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist, mis on kaetud tiheda kulumiskindla ränikarbiidi (SiC) kattega. SiC-kattel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname ränidioksiidi õhukeste kihtidena grafiidile, kasutades keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi, et parandada fookusrõngaste kasutusiga.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Plasma töötlemise fookusrõngas on spetsiaalselt loodud vastama plasma söövitamise töötlemise kõrgetele nõudmistele pooljuhtide tööstuses. Meie täiustatud, kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud komponendid on ehitatud taluma äärmuslikke keskkondi ja sobivad kasutamiseks erinevates rakendustes, sealhulgas ränikarbiidikihtides ja epitaksilistes pooljuhtides.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi täiustatud, kõrge puhtusastmega SiC fookusrõngad on ehitatud nii, et need taluvad plasmasöövitus- (või kuivsöövitus-) kambrites äärmuslikke keskkondi. Keskendume pooljuhtide tööstustele, nagu ränikarbiidi kihid ja epitaksilised pooljuhid. Meie toodetel on hea hinnaeelis ja need hõlmavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring