Ränikarbiidist keraamiline vahvelpaat

Semicorex pakub vahvlipaate, pjedestaale ja kohandatud vahvlikandjaid nii vertikaalsete / kolonnide kui ka horisontaalsete konfiguratsioonide jaoks. Oleme aastaid olnud ränikarbiidist kattekile tootja ja tarnija. Meie ränikarbiidist keraamiline vahvel on hea hinnaeelisega ja katab enamiku Euroopa ja Ameerika turust. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorexi ränikarbiidist keraamiline vahvelpaat, parim lahendus vahvlite käsitsemiseks ja kaitsmiseks pooljuhtide valmistamisel.
Meie ränikarbiidi keraamiline vahvel on valmistatud kvaliteetsest materjalist, mis on kaetud ränikarbiidi kihiga (SiC), mida kasutatakse CVD meetodil, millel on hea korrosioonikindlus ning suurepärane vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ja termilisele šokile. Täiustatud keraamika tagab suurepärase soojustakistuse ja plasma vastupidavuse, vähendades samal ajal suure võimsusega vahvlikandjate osakesi ja saasteaineid.

Ränikarbiidist keraamilise vahvlipaadi parameetrid

Tehnilised omadused
Indeks	Üksus	Väärtus
Materjali nimi		Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid	Survevaba paagutatud ränikarbiid	Ümberkristallitud ränikarbiid
Koosseis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Puistetiheduse	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Paindetugevus	MPa (kpsi)	338(49)	380 (55)	80–90 (20 °C)90–100 (1400 °C)
Survetugevus	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kõvadus	Knoop	2700	2800	/
Vastupidavuse murdmine	MPa m1/2	4.5	4	/
Soojusjuhtivus	W/m.k	95	120	23
Soojuspaisumise koefitsient	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Erisoojus	Džauli/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimaalne õhutemperatuur	℃	1200	1500	1600
Elastne moodul	Gpa	360	410	240

Erinevus SSiC ja RBSiC vahel:

1. Paagutamisprotsess on erinev. RBSiC on infiltreerida vaba Si madalal temperatuuril ränikarbiidi, SSiC tekib loomulikul kokkutõmbumisel 2100 kraadi juures.

2. SSiC-l on siledam pind, suurem tihedus ja suurem tugevus, mõnede rangemate pinnanõuetega tihendite puhul on SSiC parem.

3. Erinev kasutusaeg erineva PH ja temperatuuri juures, SSiC on pikem kui RBSiC

Ränikarbiidist keraamilise vahvlipaadi omadused

Suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus
Peen SiC kristallkattega sileda pinna saavutamiseks
Kõrge vastupidavus keemilise puhastuse vastu
Materjal on disainitud nii, et ei tekiks pragusid ega kihistumist.