Tootekirjeldus

Semicorexi täppistöötlustehnoloogia võimaldab toota iga kassetti rangete tolerantside, ühtlase pilusammu ja paralleelse joondusega. Materjalide täpne töötlemine toetab sujuvat vahvlite laadimist ja mahalaadimist, mis vähendab vahvlite käsitsemisel kriimustuste tekkimise võimalust. Täpne piluvahe võimaldab ühtlase temperatuuri ja õhuvoolu kõigis vahvlites, mis soodustab oksüdatsiooni ja difusiooni ühtlust, vähendades samal ajal protsessi varieeruvust.

Kassett on valmistatud kõrge puhtusastmegaÜmberkristallitud, on ka katteid, mida saab peale kanda veelgi suurema kasu saamiseks. SiC on suurepärase termilise šoki, korrosiooni ja mõõtmete deformatsiooni stabiilsusega. SiC-l on ainulaadne kõvadus, keemiline inertsus ja soojusjuhtivus, nii et see on selle protsessikeskkonna jaoks ideaalne materjal. SiC, võrreldes kvartsi ja alumiiniumoksiidi alternatiividega, ei vähenda selle mehaanilisi ja keemilisi omadusi kõrgetel töötlemistemperatuuridel, vähendades seeläbi saastumise ohtu ja parandades vahvliprotsessi ühtlust tootmisprotsesside ajal.

SiC vahvlikasseti ülikõrge puhtusaste on vastupidav metalliliste või ioonsete saasteainete suhtes, mis sisenevad protsessikambrisse; midagi, mis on ülimalt vajalik kõrge puhtuse tagamiseks, et vastata täiustatud pooljuhtide tootmisprotsesside protsessinõuetele. Minimeerides saasteainete allikaid, suurendavad ränikarbiidist kassetid vahvlite saagist ja seadme töökindlust.

Semicorexi täppistöötlustehnoloogia võimaldab toota iga kassetti rangete tolerantside, ühtlase pilusammu ja paralleelse joondusega. Materjalide täpne töötlemine toetab sujuvat vahvlite laadimist ja mahalaadimist, mis vähendab vahvlite käsitsemisel kriimustuste tekkimise võimalust. Täpne piluvahe võimaldab ühtlase temperatuuri ja õhuvoolu kõigis vahvlites, mis soodustab oksüdatsiooni ja difusiooni ühtlust, vähendades samal ajal protsessi varieeruvust.

LisaksSiCInertsus kemikaalide suhtes kaitseb vahvleid reaktsiooni eest protsessigaasidele (nt hapnik, vesinik, ammoniaak), mida tavaliselt töödeldakse. Vahvlikassetid on stabiilsed oksüdeerivas ja mitteoksüdeerivas keskkonnas ning neid saab kaasata ahju töövoogu mitmetesse protsessidesse, nagu oksüdatsioon, difusioon, LPCVD ja lõõmutamine.

Spetsiifiliste protsessinõuete täitmiseks pakub Semicorex erineva suuruse, pesade arvu ja konfiguratsiooniga kohandatud SiC vahvlikassette. Iga seade läbib range kvaliteedikontrolli ja pinnatöötluse, et tagada sujuvus, puhtus ja mõõtmete täpsus. Valikuline pinna poleerimine vähendab veelgi osakeste teket ja parandab ühilduvust automatiseeritud vahvlite käitlemissüsteemidega.