SIC VACUUM CHUCKS

SemikorexRänikarbiidSIC-vaakumpuks on kõrgtehnoloogilised keraamilised tööriistad, mis on loodud ohutuks ja usaldusväärseks hoidmiseks pooljuhtide vahvlite hoidmiseks täppismaterjalide eemaldamise protsesside ajal. Need on loodud kasutamiseks ülikergetes, kõrgtemperatuurides ja keemiliselt karmides keskkondades. SIC -vaakumpuks aitavad pakkuda paremat vahvli adsorptsiooni ja joondamist. Semicorexi sic -vaakumtükke toodetakse kõrge puhtusega räni karbiidi keraamikast, et pakkuda suurepärase mehaanilise tugevuse, soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse.

Vaakumkatte peamine ülesanne on tõmmata ühtlane imemine üle vahvli pinna, nii et vahvlit hoitakse stabiilsena selliste protsesside ajal nagu kontrollimine, ladestumine, söövitus ja litograafia. Tüüpilistel vaakumtükkidel on probleeme osakeste genereerimise, väändumise või keemilise halvenemisega aja jooksul. Äärmuslike pooljuhtide tootmistingimuste korral pakuvad SIC vaakumpunktid suurepärase pikaajalise vastupidavuse ja stabiilsuse.

Räni karbiidimaterjale hinnatakse kõrgelt kareduse, termilise stabiilsuse ja madala soojuspaisumise koefitsiendi poolest. Need materjalid jäävad mõõtmetega stabiilseks mitmel temperatuuril, võimaldades termilist stabiilsust ja paremat protsessi täpsust, ilma et vahvli soojusvastaseid ebakõlasid. Nende kõrge soojusjuhtivus võimaldab ka kiiret soojuse hajumist, mis on kasulik kiiretes termilistes algtingimustes või lühikese kokkupuute korral suure energiatarbega plasmas.

SIC -keraamikal pole mitte ainult termilisi ja mehaanilisi eeliseid, vaid on ka plasma korrosiooni ja agressiivse protsessigaaside suhtes vastupidav. See funktsioon muudab SIC -vaakumpuhad eriti soodsaks kuiva söövituse, CVD ja PVD -protsesside jaoks, kus kvarts- või alumiiniumnitriidimaterjalid saavad kasutamisel laguneda. SIC -i keemiline inersus aitab piirata saastumist ja parandada tööriista tööstust.

Parema jõudluse tagamiseks. Semicorex valmistab SIC-vaakumpuhaseid ja täpsustab eriti tihedaid tolerantse koos ultravoolupindadega, mille kanalite struktuurid on värskenduses Micron's. Nende funktsioonide abil pakub see vahvli tuge täpse imemise ja pideva imemispiirkonnaga vahvli toetamiseks vähenevate lõimede või vahvlite purunemise võimaluste vähendamiseks. Erinevates rakendustes on saadaval ka kohandatud disainiteenused, mis sobivad erinevates vahvlisuuruses (2 kuni 12 ").

Kuna kõrgem saagikus, protsesside kontroll ja usaldusväärsus on tegurid, on SIC vaakumpurud järgmise põlvkonna pooljuhtide seadmete uued olulised komponendid. SIC -vaakumtükkide rakendused on otseselt seotud saagikuse suurenemisega, seadmete usaldusväärsuse ja töötlemise kontrolliga.