Sic robot käed

Semicorex SIC Robot Hands on uusimad lõpp-efektid, mis on mõeldud robootika vahvli ülekanderakenduste jaoks pooljuhtide tootmise valdkonnas. Kõrge jõudlusega materjalidega valmistatud robotkäed muutsime räni karbiidi (SIC) keraamikaga, et tagada maksimaalne soojuslik tabel, keemiline stabiilsus ja mehaaniline tugevus vahvli valmistamise või käitlemise üha karmimaks keskkonnas.

Meie SIC -robotikäsi keskmes on meie omandiõigusega edasijõudmineränikarbiidTuntud oma kõrge kõvaduse (MOHS 9), kõrge soojusjuhtivuse ja korrosiooniresistentsuse poolest. Erinevalt traditsioonilistest materjalidest, näiteks alumiiniumist või roostevabast terasest, ühildub SIC pooljuhtide puhastusruumide karmi töötlemiskeskkonnaga, sealhulgas töödeldud kõrged temperatuurid ja reaktiivsed gaasid. Pakume pikaajalist vastupidavust ja minimeerime saastumist, mis on kooskõlas vahvli tootmiseks vajaliku range puhtusega.

SIC -robotite kätega pooljuhtide seadmed kasutavad vahvli saamiseks negatiivset rõhu imemist, st pooljuhtide vahvli adsorbeerub kvartsil või keraamilisel sõrmel, kasutades iminarika põhimõtet, millele järgneb transportimine, kasutades vastavalt mehaanilise toimingu käe laienemist, pöörlemist ja tõstmist.

Pooljuhtide vahvli käitlemise seadmete põhiomadused on "suur kiirus" ja "puhtus". Nende omaduste täitmiseks on seadmetel kasutatud komponentide jõudluse kohta äärmiselt ranged nõuded. Kuna enamik protsesse viiakse läbi vaakumis, kõrge temperatuuri ja söövitava gaasikeskkonnas, peavad seadmes kasutatud käitlemisvars olema suurepärased füüsikalised omadused, näiteks: kõrge mehaaniline tugevus, korrosioonikindlus, kõrge temperatuurikindlus, kulumiskindlus, kõrge kõvadus, isolatsioon jne ning täiustatud keraamilised materjalid võivad nende tingimustega lihtsalt vastata.

Räni karbiidi keraamikaKas teil on tiheda tekstuuri füüsikalised omadused, kõrge kõvadus, kõrge kulumiskindlus, aga ka hea soojustakistus, suurepärane mehaaniline tugevus, hea isolatsioon kõrge temperatuuriga keskkonnas, hea korrosioonikindlus ja muud füüsilised omadused. See on suurepärane materjal pooljuhtide seadmete käsitsemiseks.

Tunnistades, et robotplatvormid on erinevad FAB -de ja tööriistatootjate vahel, on meie SIC -robotkäed saadaval erinevates standardiseeritud suurustes ja neid saab kohandada unikaalsete tööriistade konfiguratsioonide jaoks. Paigaldusliidesed, sõrmegeomeetriad ja vahvli tugifunktsioonid saavad kohandada konkreetsete seadmete ja protsessi vajaduste rahuldamiseks. Ükskõik, kas kandate vahvleid klastri tööriistade, vaakumkambrite või FOUP süsteemide piires, integreeruvad meie robotikäed sujuvalt juhtivate robootikabrändidega.

Iga SIC -robotikäsi läbib range puhastamise, kontrolli ja pakendamise protseduurid, et tagada 1. klassi puhastatud standardite järgimine. SIC-i mittepoorne antistaatiline pind vähendab osakeste adhesiooni, samas kui tugev struktuur peab vastu mikrofraktsioonidesse, mis võivad aja jooksul põhjustada osakeste genereerimist. See muudab need ideaalseks esiotsa vahvliprotsesside jaoks, kus isegi vähim saastumine võib põhjustada seadme rikke.

Epitaxy ja ioonide implanteerimisest PVD, CVD ja CMP -ni usaldatakse sic -robotite käed igal pooljuhtide seadme valmistamise etapil. Nende parem resistentsus termilise šoki ja plasmakeskkonna suhtes muudab need kaugelearenenud loogika ja võimsuse pooljuhtide liinides hädavajalikuks, eriti kui kasutatakse SIC vahvlisubstraate.